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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0762952 (2013-02-08) |
등록번호 | US-9524864 (2016-12-20) |
우선권정보 | KR-10-2012-0012927 (2012-02-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 3 |
A method of manufacture and fluid supply system for treating a substrate is provided. The fluid supply system for treating a substrate may include a substrate dry part supplying a dry fluid to dry a rinse solution doped on a substrate; a dry fluid separation part retrieving a mixed fluid that the dr
1. A fluid supply system for treating a substrate comprising: a process chamber configured to supply a supercritical fluid to a substrate to dry a rinse solution adhered to the substrate;a supercritical fluid separation unit configured to receive a mixed fluid comprising a mixture of the supercritic
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