[특허]Pod and purge system using the same

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Pod and purge system using the same

특허상세정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B65D-085/00 H01L-021/673 H01L-021/677
출원번호	US-0633758 (2015-02-27)
등록번호	US-9543177 (2017-01-10)
우선권정보	JP-2014-036125 (2014-02-27)
발명자 / 주소	Miyajima, Toshihiko Iwamoto, Tadamasa Emoto, Jun
출원인 / 주소	TDK Corporation
대리인 / 주소	Oblon, McClelland, Maier & Neustadt, L.L.P.
인용정보	피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 3

초록
▼

An object is to prevent the partial pressure of oxidative gas over time in an FOUP mounted on an FIMS system and left open. A surface purge unit is provided on a side opposite to the opening of the FOUP in such a way that wafers supported in the FOUP is located between the opening and the surface purge unit. The surface purge unit ejects inert gas from a plurality of vent holes provided in its surface toward the opening. Uniform purging or replacement of the interior of the FOUP with inert gas can be achieved by creating inert gas flow from an inert gas ...

대표
청구항
▼

1. A pod comprising: shelves provided in an interior space of the pod, on which shelves narrow plate-like contents spaced along a height direction may be placed respectively;an opening of the pod through which the contents may be transferred onto/from said shelves from/to outside;a lid configured to close said opening to seal said interior space;a surface purge unit having a surface provided as at least one of the inner surfaces of the pod, the one of the inner surfaces including a surface opposed to said opening and two side surfaces extending between said surface opposed to said opening and said opening, the surface purge unit having a plurality of vent holes and being arranged to eject a specific gas toward said contents in a direction parallel to surfaces of said contents; andat least two gas supply towers which connect to the surface of the surface purge unit provided as at least one of the inner surfaces of the pod, wherein the specific gas is supplied to the surface of the purge unit through the at least two gas supply towers. 2. A pod according to claim 1, wherein said surface purge unit is provided as a surface opposite to said opening with said contents therebetween and is configured to eject the specific gas from the plurality of vent holes toward said opening. 3. A pod according to claim 1, wherein each of said vent holes is a slit extending in said height direction, the length of the slit being larger than a spacing of at least two of said shelves. 4. A pod according to claim 1, wherein said vent holes are arranged in an area corresponding to the entirety of an area over which said contents are to be supported on the shelves, when the interior of the pod is seen from said opening. 5. A pod according to claim 1, wherein a pressure drop through one or some of said vent holes located at upper positions in said pod and the pressure drop through one or some of said vent holes located at lower positions in said pod are different from each other. 6. A purge system comprising: a pod comprising shelves provided in an interior space thereof, on which shelves narrow plate-like contents spaced along a height direction may be placed respectively; an opening of the pod through which the contents may be transferred onto/from said shelves from/to outside; a lid configured to close said opening to seal said interior space; and a surface purge unit having a surface provided as at least one of the inner surfaces of the pod, the one of the inner surfaces including a surface opposed to said opening and two side surfaces extending between said surface opposed to said opening and said opening, the surface purge unit having a plurality of vent holes and being arranged to eject a specific gas toward said contents in a direction parallel to surfaces of said contents;a mount base on which said pod is placed;a mount base gas supply port provided in said mount base and connected to said surface purge unit, when said pod is placed on said mount base, to supply said specific gas to said surface purge unit; andat least two gas supply towers which connect to the surface of the surface purge unit provided as at least one of the inner surfaces of the pod, wherein the specific gas is supplied to the surface of the purge unit through the at least two gas supply towers. 7. A pod according to claim 1, wherein the surface of the surface purge unit provided as at least one of the inner surfaces of the pod is arranged between the gas supply towers and is connected to the gas supply towers.

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구성항목	관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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