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연합인증

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Tray engine with slide attached to an end effector base 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B25J-015/02
  • B25J-015/00
  • B07C-005/00
  • H01L-021/67
  • H01L-021/677
  • H01L-021/687
  • G01N-035/04
출원번호 US-0830692 (2013-03-14)
등록번호 US-9545724 (2017-01-17)
발명자 / 주소
  • Bonora, Anthony C.
  • Compian, Brian
  • Henderson, Jeff P.
  • Carlson, Robert W.
출원인 / 주소
  • Brooks Automation, Inc.
대리인 / 주소
    Martine Penilla Group, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 8

초록

A tray engine includes a vertical drive column, a rotation mechanism for rotating the vertical drive column, and an end effector attached to the vertical drive column. The end effector includes an end effector base attached to the vertical drive column. The end effector further includes a slide atta

대표청구항

1. A tray engine comprising: a vertical drive column;a rotation mechanism for rotating the vertical drive column; andan end effector attached to the vertical drive column, the end effector including: an end effector base attached to the vertical drive column;a slide attached to the end effector base

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Anthony Kurt G., Apparatus for handling and transporting plate like substrates.
  2. Cloutier, Robert P.; Warhurst, Julian; Zandi, Behrouz; O'Toole, James; Solberg, Halvard, Automated storage and retrieval system for storing biological or chemical samples at ultra-low temperatures.
  3. Hamed Nihad (Pontiac MI) Hamed Hazem (Westland MI), Compound toggle robotic gripper.
  4. Pryor Timothy R. (Tecumseh CAX), Fiber optic based robot controls.
  5. Grisebach Hans T. (Kampstrasse 7 4750 Unna DEX) Betzing Rudolf (Vogelherd 3 5800 Hagen DEX) Betzing Volker (Vogelherd 3 5800 Hagen DEX) Betzing Ulrich (Vogelherd 3 5800 Hagen DEX) Betzing Klaus (Voge, Manipulator with a swivel jib.
  6. Schmidt Wayne J. ; Oberlitner Thomas H., Robots for microelectronic workpiece handling.
  7. Bonora,Anthony C.; Gould,Richard H.; Hine,Roger G.; Krolak,Michael; Speasl,Jerry A., Wafer engine.
  8. Rosenquist Frederick T. ; Richardson Bruce ; Fosnight William J. ; Bonora Anthony C., Wafer mapping system.
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