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Device comprising a ductile layer and method of making the same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-023/48
  • H01L-021/66
  • G01R-031/26
  • G01R-031/28
  • H01L-023/58
  • H01L-021/768
  • H01L-023/532
  • H01L-023/00
  • H01L-023/522
  • H01L-023/525
출원번호 US-0093528 (2016-04-07)
등록번호 US-9576867 (2017-02-21)
발명자 / 주소
  • Meyer-Berg, Georg
  • Pufall, Reinhard
출원인 / 주소
  • Infineon Technologies AG
대리인 / 주소
    Slater Matsil, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 7

초록

Device comprising a ductile layer, a method for making a component comprising a ductile layer and a method for testing a component are disclosed. An embodiment includes an electronic device including a first conductive layer, a ductile layer and a brittle layer between the first conductive layer and

대표청구항

1. A component comprising: a substrate;a first metal line disposed over the substrate;an insulating layer disposed over the first metal line;a second metal line disposed over the insulating layer;a ductile metal layer disposed between the first metal line and the second metal line, wherein the ducti

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Mitwalsky Alexander ; Ryan James Gardner, Crack stop formation for high-productivity processes.
  2. Awad, Elie; Awad, Mariette A.; Feng, Kai D., Design of BEOL patterns to reduce the stresses on structures below chip bondpads.
  3. Hosseini, Khalil; Stecher, Matthias, Electronic device and method for production.
  4. Pozder, Scott K.; Uehling, Trent S.; Ramanathan, Lakshmi N., Metal reduction in wafer scribe area.
  5. Dagenais, Mario; Merritt, Scott A.; Datta, Madhumita, Re-metallized aluminum bond pad, and method for making the same.
  6. Burrell, Lloyd G.; Wong, Kwong H.; Kelly, Adreanne A.; McKnight, Samuel R., Semiconductor device having a composite layer in addition to a barrier layer between copper wiring and aluminum bond pad.
  7. Daubenspeck, Timothy H.; Gambino, Jeffrey P.; Muzzy, Christopher D.; Sauter, Wolfgang; Sullivan, Timothy D., Structures and methods for improving solder bump connections in semiconductor devices.
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