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Article transport facility 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65G-037/00
  • B65G-043/08
  • B65G-049/02
  • H01L-021/00
  • H01L-021/677
  • H01L-021/673
출원번호 US-0937213 (2015-11-10)
등록번호 US-9583370 (2017-02-28)
우선권정보 JP-2014-230063 (2014-11-12)
발명자 / 주소
  • Takada, Ayato
출원인 / 주소
  • Daifuku Co., Ltd.
대리인 / 주소
    The Webb Law Firm
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 15

초록

An article transport facility includes a connecting actuator device for moving an eject portion of an inactive gas supplying device relative to a support portion of a ceiling transport vehicle in order to change the positional relationship between the support portion and the eject portion between a

대표청구항

1. An article transport facility comprising: an article transport vehicle configured to travel along a travel rail suspended from a ceiling to transport a container wherein the article transport vehicle includes a support portion for supporting the container;an inactive gas supplying device having a

이 특허에 인용된 특허 (15)

  1. Naylor, Stuart, Apparatus for purging containers for storing sensitive materials.
  2. Takahara, Masahiro; Ueda, Toshihito, Article storage facility and article storage method.
  3. Babbs, Daniel; Fosnight, William, Carrier gas system and coupling substrate carrier to a loadport.
  4. Yotsumoto Tadashi,JPX ; Muguruma Terumi,JPX ; Yoshikawa Noriaki,JPX ; Kuroda Yuichi,JPX, Clean storage equipment for substrates and method of storing substrates.
  5. Iizuka, Yukio; Shibata, Suguru, Container storage facility.
  6. Garric George (Perthes FRX) Lafond Andr (Nemours FRX), Dispatching apparatus with a gas supply distribution system for handling and storing pressurized sealable transportable.
  7. Natsume, Mitsuo; Ochiai, Mitsutoshi; Mizokawa, Takumi, Gas charging apparatus, gas discharging apparatus, gas charging method, and gas discharging method.
  8. Flitsch, Frederick, Method and apparatus to support a cleanspace fabricator.
  9. Fosnight William J. ; Shenk Joshua W., Pod to port door retention and evacuation system.
  10. Bufano, Michael L.; Gilchrist, Ulysses; Fosnight, William; Hofmeister, Christopher; Babbs, Daniel; May, Robert C., Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system.
  11. Langan, John Giles; McDermott, Wayne Thomas; Hsiung, Thomas Hsiao-Ling, Self evacuating micro environment system.
  12. Okabe, Tsutomu; Miyajima, Toshihiko, Substrate storage pod with replacement function of clean gas.
  13. Kumasaka Iwao,JPX ; Kubo Koji,JPX ; Suzuki Makoto,JPX ; Tsunoda Yuji,JPX, Substrate treatment equipment and method with testing feature.
  14. Nakamura, Tsutomu; Tanimura, Hidenobu; Mizobe, Yuya, Vacuum processing apparatus.
  15. Tokunaga,Kenji, Wafer carrier, wafer conveying system, stocker, and method of replacing gas.
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