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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0964977 (2015-12-10) |
등록번호 | US-9583372 (2017-02-28) |
우선권정보 | JP-2014-065541 (2014-03-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 21 |
A member for semiconductor manufacturing device includes a susceptor which is a ceramic plate formed of AlN and a gas introduction pipe which is joined to the susceptor. An annular pipe joining bank is provided at a position of the susceptor facing a flange of the gas introduction pipe. In addition,
1. A joined body comprising a ceramic plate joined to a metal cylindrical member, the joined body including: a flange which is formed at an end of the cylindrical member so as to have an outer edge and a face surface that extends in parallel to a rear surface portion of the ceramic plate,an annular
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