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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0109400 (2013-12-17) |
등록번호 | US-9583377 (2017-02-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 22 |
An installation fixture adapted to mount an elastomer band in a mounting groove around a semiconductor substrate support used for supporting a semiconductor substrate in a plasma processing chamber is disclosed, which includes an annular ring having a vertically extending portion on an outer edge of
1. An installation fixture adapted to mount an elastomer band in a mounting groove around a semiconductor substrate support used for supporting a semiconductor substrate in a plasma processing chamber, the installation fixture comprising: an annular ring having a vertically extending portion on an o
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