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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0004337 (2012-03-28) |
등록번호 | US-9664195 (2017-05-30) |
우선권정보 | GB-1106310.4 (2011-04-14) |
국제출원번호 | PCT/GB2012/050686 (2012-03-28) |
§371/§102 date | 20130910 (20130910) |
국제공개번호 | WO2012/140406 (2012-10-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 3 |
To overcome the problem associated with liquid or solid process debris from a vacuum process system falling into, and contaminating or damaging, a vacuum pumping arrangement used to evacuate the system, the inlet of the vacuum pumping arrangement is located lower than the outlet of the arrangement.
1. A method of retro-fitting a vacuum pumping arrangement comprising a cartridge type vacuum pumping mechanism having an inlet which in use is higher than an outlet to the mechanism, the vacuum pumping arrangement being configured for rotating the cartridge type vacuum pumping mechanism in a first d
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