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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0245499 (2016-08-24) |
등록번호 | US-9664999 (2017-05-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 5 |
The present disclosure relates to an extreme ultraviolet (EUV) pellicle having a pellicle film connected to a pellicle frame. In some embodiments, the EUV pellicle has a substrate, and an adhesive material disposed onto the substrate. A pellicle frame is connected to the substrate by way of the adhe
1. An extreme ultraviolet (EUV) pellicle, comprising: a substrate;an adhesive material disposed onto the substrate;a pellicle frame connected to the substrate by way of the adhesive material and configured to mount the substrate to an extreme ultraviolet (EUV) reticle; andwherein a surface of the su
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