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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0380646 (2013-02-22) |
등록번호 | US-9695985 (2017-07-04) |
국제출원번호 | PCT/US2013/027301 (2013-02-22) |
국제공개번호 | WO2013/126685 (2013-08-29) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 12 |
A fluid supply system adapted for vacuum and pressure cycling of fluid, including a transfer vessel adapted to supply a process canister with fluid drawn from a bulk canister under a vacuum, wherein delivery of fluid from the transfer vessel to the process canister is accomplished with positive pres
1. A method of delivering fluid for use thereof, the method comprising: activating a vacuum source to draw fluid from at least one bulk canister into a transfer vessel;supplying a first gas to the transfer vessel to drive said fluid from the transfer vessel into a process canister; andsupplying a se
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