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Workpiece holding apparatus 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B25J-015/06
  • H01L-021/683
  • B24B-041/06
  • H01L-021/304
출원번호 US-0122524 (2015-02-17)
등록번호 US-9728442 (2017-08-08)
우선권정보 JP-2014-056852 (2014-03-19)
국제출원번호 PCT/JP2015/000703 (2015-02-17)
국제공개번호 WO2015/141122 (2015-09-24)
발명자 / 주소
  • Yasuda, Taichi
  • Enomoto, Tatsuo
출원인 / 주소
  • SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
대리인 / 주소
    Oliff PLC
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 10

초록

A workpiece holding apparatus, including: a rigid body having a vent; a suction pad adhered onto the lower end face of rigid body and having an opening communicating with vent, being configured to suck and hold a workpiece; an air controlling mechanism communicating with the vent, being configured t

대표청구항

1. A workpiece holding apparatus, comprising: a rigid body having a vent;a suction pad adhered onto a lower end face of the rigid body and having an opening communicating with the vent, being configured to suck and hold a workpiece;an air controlling mechanism communicating with the vent, being conf

이 특허에 인용된 특허 (10)

  1. Thallner, Erich, Handling device and handling method for wafers.
  2. Jacobs,Adrianus Franciscus Maria, Magnetic vacuum gripper including inflatable bellows.
  3. Shatto ; Jr. Howard L. (Houston TX), Manipulator apparatus with flexible membrane for gripping submerged objects.
  4. Torii,Hiroomi; Hayama,Takuji; Yashima,Tetsuya, Polishing apparatus.
  5. Takahashi Kazuo,JPX, Substrate holding device and polishing method and polishing apparatus using the same.
  6. Teissier Jacques (18 ; rue Gustave Flaubert Rueil-Malmaison FRX 92500), Suction gripping device.
  7. Fortune William S. (14250 Dearborn St. Panorama City CA 91402), Vacuum operated holding fixture.
  8. Schwartz Vladimir (Lexington MA) Freytsis Avrum (Swampscott MA), Vacuum pick for semiconductor wafers.
  9. Tsukushi Tadaaki,JPX, Vacuum-suction attachment pad.
  10. Strasbaugh Alan (825 Buckley Rd. San Luis Obispo CA 93401), Wafer-handling apparatus having a resilient membrane which holds wafer when a vacuum is applied.
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