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Heat reflector for substrate processing apparatus 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • 15-09
출원번호 US-0548574 (2015-12-15)
등록번호 US-D803917 (2017-11-28)
우선권정보 JP-2015/013299 (2015-06-16)
발명자 / 주소
  • Harada, Koichiro
  • Yasui, Takeshi
출원인 / 주소
  • HITACHI KOKUSAI ELECTRIC, INC.
대리인 / 주소
    Fitch, Even, Tabin & Flannery, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 3  인용 특허 : 17

초록

초록이 없습니다.

대표청구항

We claim the ornamental design for a heat reflector for substrate processing apparatus, as shown (and described).

이 특허에 인용된 특허 (17)

  1. Renz, Charles John; Randolph, Ross Steven, Converter ring.
  2. Nagakubo,Keiichi; Satoh,Daiki, Cover ring.
  3. Goel, Ashish; Subramani, Anantha K., Deposition chamber cover ring.
  4. Tauchi, Susumu; Uemura, Takashi; Sato, Kohei, Electrode cover for a plasma processing apparatus.
  5. Mizukami, Shunsuke, Focusing ring.
  6. Okada,Mitsuhiro; Furusawa,Yoshikazu; Suzuki,Daisuke, Heat dissipation deterrence link for semiconductor manufacture.
  7. Lyon Garnet R. (Elmira NY), Index ring for a machine tool.
  8. Wainwright, Norman R.; Manian, Bala S.; Stimpson, Eric; Kolonia, Brian J.; Kolonia, Robert K., Lid.
  9. Stroupe Hugh (Boise ID) Sharan Sujit (Boise ID) Sandhu Gurtej S. (Boise ID), Polishing apparatus, a polishing wafer carrier apparatus, a replacable component for a particular polishing apparatus an.
  10. Rapparini, Gino, Reinforcement ring for beverage capsule.
  11. Willis,George D.; Easter,William G., Retaining ring for use on a carrier of a polishing apparatus.
  12. Miceli, David A.; Miceli, Joseph A., Scalloped pharmaceutical closure.
  13. Velez Cherle (9609 Arbor Meadow Dr. Boynton Beach FL 33437), Sink drain shield.
  14. Cogley,Paul Andrew; Romeo,Derek Joseph; Brooks,Joseph R., Susceptor ring.
  15. McCallum Duncan J. (Hinsdale IL) Williams John P. (Geneva IL) Jack Robert C. (Schaumburg IL), Transportation safety ring for cylindrical containers.
  16. Tateno, Hideto; Hara, Daisuke; Okuno, Masahisa; Joda, Takuya, Vaporizer for substrate processing apparatus.
  17. Nguyen, Phuong Van, Wafer polishing pad holder.

이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. Ichino, Takamasa; Sato, Kohei; Nakamoto, Kazunori, Electrode cover for a plasma processing apparatus.
  2. Ichino, Takamasa; Sato, Kohei; Nakamoto, Kazunori, Electrode cover for a plasma processing apparatus.
  3. Furneaux, Todd McLean; Thuma, Michael; Vogler, Michael R., Tumbler rim.
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