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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0413786 (2017-01-24) |
등록번호 | US-9875919 (2018-01-23) |
우선권정보 | JP-2013-010836 (2013-01-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 13 |
A flash heating part in a heat treatment apparatus includes 30 built-in flash lamps, and irradiates a semiconductor wafer held by a holder in a chamber with a flash of light. Thirty switching elements are provided in a one-to-one correspondence with the 30 flash lamps. Each of the switching elements
1. A method of heating a substrate by irradiating the substrate with a flash of light, the method comprising the step of adjusting the ON time interval of a pulse signal to be outputted to each of a plurality of switching elements provided in a one-to-one correspondence with a plurality of flash lam
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