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Robot having arm with unequal link lengths 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B25J-009/04
  • B25J-018/04
  • B25J-015/00
  • H01L-021/677
  • B25J-009/10
출원번호 US-0761718 (2014-01-14)
등록번호 US-9889557 (2018-02-13)
국제출원번호 PCT/US2014/011416 (2014-01-14)
국제공개번호 WO2014/113364 (2014-07-24)
발명자 / 주소
  • Hosek, Martin
  • Hofmeister, Christopher
출원인 / 주소
  • Persimmon Technologies, Corp.
대리인 / 주소
    Harrington & Smith
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 27

초록

A transport apparatus including a drive; a first arm connected to the drive, where the first arm includes a first link, a second link and an end effector connected in series with the drive, where the first link and the second link have different effective lengths; and a system for limiting rotation

대표청구항

1. A transport apparatus comprising: a drive comprising coaxial drive shafts, where the coaxial drive shafts comprise only three coaxial drive shafts;a first arm connected to the drive, where the first arm comprises a first link, a second link and a first end effector connected in series with the dr

이 특허에 인용된 특허 (27)

  1. Moll, Frederic H.; Rosa, David J.; Ramans, Andris D.; Blumenkranz, Stephen J.; Guthart, Gary S.; Niemeyer, Gunter D.; Nowlin, William C.; Salisbury, Jr., J. Kenneth; Tierney, Michael J.; Mintz, David, Arm cart for telerobotic surgical system.
  2. Hofmeister, Christopher; Krupyshev, Alexander; Gilchrist, Ulysses, Compact substrate transport system.
  3. Grover, Gaylen; Wightman, Dennis; Melendez, Tomas, Drive system for multiple axis robot arm.
  4. Blank, Richard; McLellan, Matt, Dual arm vacuum robot.
  5. Hudgens, Jeffrey C.; Rangarajan, Jagan; Rice, Michael R.; Kankanala, Penchala N., End effector for a cluster tool.
  6. Asakawa Teruo (Yamanashi JPX), Ion injection device.
  7. Ogawa,Hironori; Uratani,Takafumi; Sugane,Masayuki; Matsuzaki,Yoshiyuki; Murata,Naoya; Uno,Sakiko, Linear moving mechanism and transfer robot using the same.
  8. Isamu Tadokoro (Moriyama JPX), Mechanism for moving gripper and adjusting loci of its motions in work takeout device.
  9. Larsen, Grant Kenji, Methods and apparatus for high speed object handling.
  10. van der Meulen, Peter, Mid-entry load lock for semiconductor handling system.
  11. Stark Lawrence R. (San Jose CA) Turner Frederick (Sunnyvale CA), Modular wafer transport and processing system.
  12. Bacchi Paul ; Filipski Paul S., Multiple link robot arm system implemented with offset end effectors to provide extended reach and enhanced throughput.
  13. Freudenstein Ferdinand (Bronx NY), Noncircular drive.
  14. Uehara Akira (Kanagawa JPX) Hijikata Isamu (Kanagawa JPX) Minato Mitsuaki (Kanagawa JPX), Object handling device.
  15. Uehara Akira (Kanagawa JPX) Hijikata Isamu (Kanagawa JPX) Minato Mitsuaki (Kanagawa JPX), Object handling devices.
  16. Beaulieu, David R., Substrate transport apparatus with coaxial drive shafts and dual independent scara arms.
  17. Tabrizi Farzad ; Kitazumi Barry ; Barker David A. ; Setton David A. ; Niewmierzycki Leszek ; Kuhlman Michael J., Systems and methods for robotic transfer of workpieces between a storage area and a processing chamber.
  18. Hiroki Tsutomu (Yamanashi JPX) Asakawa Teruo (Yamanashi JPX), Transfer device for transferring a substrate.
  19. Ogawa Hironori,JPX ; Kamitani Masashi,JPX, Transfer robot.
  20. Ogawa Hironori,JPX ; Kamitani Masashi,JPX, Transfer robot.
  21. Ogawa,Hironori; Uno,Sakiko, Transfer robot.
  22. Saeki, Hiroaki; Ishizawa, Shigeru; Shindo, Takehiro; Hiroki, Tsutomu; Machiyama, Wataru, Transportation apparatus and drive mechanism.
  23. Ogawa Hironori,JPX ; Tsubota Ryusuke,JPX, Two-armed transfer robot.
  24. Ogawa Hironori,JPX ; Yoda Hirokazu,JPX, Two-armed transfer robot.
  25. Caveney, Robert T.; Martin, David; Gilchrist, Ulysses, Unequal link SCARA arm.
  26. Bacchi Paul ; Filipski Paul S., Unitary specimen prealigner and continuously rotatable four link robot arm mechanism.
  27. Kinnard, David William; Richardson, Daniel, Wafer transport apparatus.
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