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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0503859 (2014-10-01) |
등록번호 | US-9905447 (2018-02-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 11 |
An electronic device manufacturing system is disclosed. The system includes a processing tool having one or more processing chambers each adapted to perform an electronic device manufacturing process on one or more substrates; a substrate carrier adapted to couple to the system and carry one or more
1. A substrate carrier adapted to couple to a system component and carry one or more substrates, comprising: a main body;a carrier door coupled to the main body thereby forming an internal cavity adapted to receive the one or more substrates;a resilient sealing member on at least one of the carrier
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