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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0372883 (2016-12-08) |
등록번호 | US-10090182 (2018-10-02) |
우선권정보 | JP-2015-242044 (2015-12-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 8 |
A load port device includes an installation stand, an opening and closing part, a gas introduction part, and a gas discharge part. The installation stand installs a container whose side surface has a main opening for taking in and out a wafer. The opening and closing part opens and closes the main o
1. A cleaning gas introducing method into a container on a load port device, comprising: an installation step of installing the container whose side surface has a main opening for taking in and out a wafer on an installation stand of the load port device;a first introduction step of introducing a cl
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