최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0544958 (2016-01-21) |
등록번호 | US-10170273 (2019-01-01) |
우선권정보 | WO-PCT/JP2015/051750 (2015-01-23) |
국제출원번호 | PCT/JP2016/051631 (2016-01-21) |
국제공개번호 | WO2016/117628 (2016-07-28) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 5 |
The purpose of the present invention is to provide a charged particle beam device that exhibits high performance due to the use of vanadium glass coatings, and to provide a method of manufacturing a component for a charged particle beam device. Specifically provided is a charged particle beam device
1. A charged particle beam device comprising: an optical device that adjusts a charged particle beam emitted from a charged particle source; anda vacuum container for forming a vacuum atmosphere in a path where the charged particle beam passes;a first anode for extracting charged particles from the
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.