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Vacuum-assisted vessel environmental contaminant purging

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/67
  • H01L-021/673
  • H01L-021/677
출원번호 US-0276789 (2016-09-26)
등록번호 US-10177019 (2019-01-08)
발명자 / 주소
  • Keam, YongHwan
  • McClendon, Marc
  • Roy, Jaison
  • Jawad, Qasim
  • Gonzales, Matt
  • Ko, DongYoung
  • Chang, Sean
출원인 / 주소
  • SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
대리인 / 주소
    Renaissance IP Law Group LLP
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 9

초록

Methods are disclosed for purging contaminants from a vessel such as a FOUP with vacuum-assistance. After the vessel is purged of environmental contaminants with a purging medium, the vessel is pressurized with a pressurizing medium such as nitrogen (N2) gas to yield a desired atmosphere. After the

대표청구항

1. A method for purging contaminants from a vessel with vacuum-assistance, the method comprising: (a) after completion of a processing step, purging a vessel of environmental contaminants with a purging medium;(b) after the purging of the vessel, pressurizing the vessel at a charging station with a

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. Miyajima Toshihiko,JPX, Clean box, clean transfer method and apparatus therefor.
  2. Yotsumoto Tadashi,JPX ; Muguruma Terumi,JPX ; Yoshikawa Noriaki,JPX ; Kuroda Yuichi,JPX, Clean storage equipment for substrates and method of storing substrates.
  3. Hu, Tain-Chen; More, Ming Te; Lee, Wei William, Container flush and gas charge system and method.
  4. Okabe, Tsutomu, Lid opening/closing system of an airtight container.
  5. Lai, Wei-Yu; Chen, Hung-Wen, Mechanisms for charging gas into cassette pod.
  6. Saga Koichiro,JPX, Sealed container, storage apparatus, electronic part conveyance system, and method of storage and conveyance of electronic parts.
  7. Babbs, Daniel; Fosnight, William; May, Robert C.; Weaver, William, Side opening unified pod.
  8. Le Guet, Catherine; Desbiolles, Jean Pierre; Kambara, Hisanori; Godot, Erwan; Sylvestre, Raphael, Vacuum interface between a mini-environment pod and a piece of equipment.
  9. Fosnight, William J.; Waite, Stephanie; Miner, Stephen B.; Robinson, John, Wafer carrier purge apparatuses, automated mechanical handling systems including the same, and methods of handling a wafer carrier during integrated circuit fabrication.
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