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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0314995 (2014-06-25) |
등록번호 | US-10214806 (2019-02-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 5 |
Systems are provided that include one or more retractable deposition source assemblies that eliminate the need for a bellows, but do not require breaking the ultra-high vacuum of a growth module for source replacement or recharging with deposition material. Systems of the present invention may inclu
1. A retractable source assembly for moving a source base plate from a first position to a second position, the retractable source assembly comprising: an enclosure having an inside surface;a rail attached to the inside surface of the enclosure;a first carriage positioned on the rail and movable alo
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