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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0290864 (2014-05-29) |
등록번호 | US-10240233 (2019-03-26) |
우선권정보 | JP-2013-114635 (2013-05-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 1 |
A heating vaporization system provided with: a container that heats and vaporizes a source to produce source gas; a pipe for leading out the source gas; a sensor flow path that is provided in the pipe; a flow rate detecting part that is provided with a thermal type flow rate sensor provided in the s
1. A heating vaporization system comprising: a container that comprises a tank that contains a source and a heating device that heats and vaporizes the source in the tank to produce a source gas;a pipe connected to the tank and arranged downstream of the tank through which the source gas from the ta
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