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Nitridization for semiconductor structures 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-023/522
  • H01L-021/3065
  • H01L-023/532
  • H01L-023/528
  • H01L-021/768
출원번호 US-0793020 (2017-10-25)
등록번호 US-10256185 (2019-04-09)
발명자 / 주소
  • Clevenger, Lawrence A.
  • Quon, Roger A.
  • Shobha, Hosadurga K.
  • Spooner, Terry A.
  • Wang, Wei
  • Yang, Chih-Chao
출원인 / 주소
  • International Business Machines Corporation
대리인 / 주소
    Alexanian, Vazken
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 14

초록

A method for fabricating a semiconductor structure includes the following steps. A substrate including a dielectric material is formed. A surface of the substrate is molecularly modified to convert the surface of the substrate to a nitrogen-enriched surface. A metal layer is deposited on the molecul

대표청구항

1. A method for fabricating a semiconductor structure, comprising: forming a substrate, wherein the substrate comprises a dielectric material;molecularly modifying at least a portion of a surface of the substrate to convert at least a portion of the surface of the substrate to a nitrogen-enriched su

이 특허에 인용된 특허 (14)

  1. Yang, Chih-Chao; Edelstein, Daniel C.; Molis, Steven E., Enhanced diffusion barrier for interconnect structures.
  2. JangJian, Shiu-Ko; Wang, Ting-Chun; Wu, Szu-An, In-situ formation of silicon and tantalum containing barrier.
  3. Ryan, E. Todd, Interconnects with a dielectric sealant layer.
  4. Zschieschang,Ute; Klauk,Hagen; Halik,Marcus; Schmid,Guenter; Braun,Stefan, Method for fabricating a field effect transistor.
  5. Kobayashi, Akiko; Kimura, Yosuke; Ishikawa, Dai; Matsushita, Kiyohiro, Method for repairing damage of dielectric film by cyclic processes.
  6. Wu, Lixin, Method of forming barrier films for copper metallization over low dielectric constant insulators in an integrated circuit.
  7. Kim, Dong-Won; Park, Dong-Gun; Lee, Sung-Young; Choi, Yang-Kyu; Yu, Lee-Eun, Molecular devices and methods of manufacturing the same.
  8. Dey,Sandwip K.; Gu,Diefeng; Sistiabudi,Rizaldi; Goswami,Jaydeb, Molecular modifications of metal/dielectric interfaces.
  9. Clevenger, Lawrence A.; Quon, Roger A.; Shobha, Hosadurga K.; Spooner, Terry A.; Wang, Wei; Yang, Chi-Chao, Nitridization for semiconductor structures.
  10. Buchanan, Douglas Andrew; Copel, Matthew Warren; McFeely, Fenton Read; Varekamp, Patrick Ronald; Holl, Mark Monroe Banaszak; Litz, Kyle Erik, Nitrogen-rich barrier layer and structures formed.
  11. Ganapathiraman,Ramanath; Kane,Ravindra S.; Pethuraja,Gopal Ganesan, Polyelectrolyte nanolayers as diffusion barriers in semiconductor devices.
  12. Yu, Chen-Hua; Chen, Hai-Ching; Bao, Tien-I, Schemes for forming barrier layers for copper in interconnect structures.
  13. Zhang Jiming ; Denning Dean J. ; Garcia Sam S. ; Pozder Scott K., Semiconductor device adhesive layer structure and process for forming structure.
  14. Yang, Chih-Chao; Chen, Hsueh-Chung, Structure and metallization process for advanced technology nodes.
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