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Reactor and process for preparing granular polysilicon 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C01B-033/027
  • B01J-008/18
  • B01J-008/42
출원번호 US-0126921 (2015-03-12)
등록번호 US-10258951 (2019-04-16)
우선권정보 DE-10 2014 205 025 (2014-03-18)
국제출원번호 PCT/EP2015/055143 (2015-03-12)
국제공개번호 WO2015/140028 (2015-09-24)
발명자 / 주소
  • Weckesser, Dirk
출원인 / 주소
  • WACKER CHEMIE AG
대리인 / 주소
    Brooks Kushman P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 7

초록

A reactor for preparing granular polysilicon by deposition of polycrystalline silicon on silicon seed particles has a reaction vessel, an inner reactor tube for a fluidized bed comprising granular polysilicon and a reactor bottom within the reactor vessel, a heating device for heating the fluidized

대표청구항

1. A reactor for preparing granular polysilicon by deposition of polycrystalline silicon on silicon seed particles, comprising: a reaction vessel having a reactor bottom; an inner reactor tube for a fluidized bed comprising granular polysilicon, a heater for heating the fluidized bed in the inner re

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Bigeard Pierre,FRX ; Kressmann Stephane,FRX ; Gueret Christophe,FRX ; Galtier Pierre,FRX ; Magne-Drisch Julia,FRX, Device for testing and for analyzing a petrochemical process.
  2. Clary David W. (Baton Rouge LA) Wikman Andrew O. (Baton Rouge LA), Device for the magnetic inductive heating of vessels.
  3. Kim Hee Y. (Daejeon KRX) Song Yong M. (Daejeon KRX) Jeon Jong Y. (Daejeon KRX) Kwon Dae H. (Daejeon KRX) Lee Kang M. (Daejeon KRX) Lee Jae S. (Daejeon KRX) Park Dong S. (Daejeon KRX), Fluidized bed reactor heated by microwaves.
  4. Yoon Poong (Seoul KRX) Song Yongmok (Chungnam KRX), Fluidized bed reactor with microwave heating system for preparing high-purity polycrystalline silicon.
  5. Kim, Hee Young; Yoon, Kyung Koo; Park, Yong Ki; Choi, Won Choon, Method for continual preparation of polycrystalline silicon using a fluidized bed reactor.
  6. Schramm Dale E. (Borger TX), Perforated reactor tube for a fluid wall reactor and method of forming a fluid wall.
  7. Weidhaus,Dieter; Hayduk,Alexander, Radiation-heated fluidized-bed reactor.
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