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NTIS 바로가기등록일자 | 2008-10-17 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=b7705422ac8448f5a3f5ceac738c5e6a&fileSn=1&bbsId= |
○ 반도체소자의 제조과정 중 노광(Exposure)공정은 노광기(Stepper)를 사용하여 마스크에 그려진 회로패턴에 빛을 통과시켜 감광막이 형성된 웨이퍼 위에 회로패턴을 사진으로 찍어내는 공정이다. 이 기술은 첨단 광학기술을 기반으로 하는 반도체 노광장치에 관한 기술로 미국, EU, 일본 등 선진국의 기술 경쟁이 매우 치열하다. 이 기술은 반도체 및 액정 디바이스의 성능을 결정하는 주요 기술로 부각되고 있는 기술로, 마스크 위에 설계한 VLSI의 패턴을 반도체 웨이퍼 위에 설치하는 미세가공장치에 적용할 수 있다.
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