초록

본 연구는 MBE장치를 중심으로하여 궁극적으로는 초격자소자 생장기술을, 부수적으로는 화합물 반도체의 Heterostructure소자(예:LD, Photo-Detector)의 생장기술을 습득, 개발한다. 또 생장소자의 특성을 레이저 빛 산란 분광법, Auger, ESCA등 표면 분석법, Hall효과등 전기적 특성의 측정을 통하여 규명한다. 나아가서는 이러한 분석방법을 정밀, 혹은 특수여건에서 적용하므로써 초격자의 저차원적 구조에서 일어나는 현장에 대한 기초연구도 행한다.

목차 Contents

• 제 1 장 머리말...12
• 1.1 초격자란?...12
• 1.2 연구 목표와 방향...19
• 제 2 장 초격자의 제작과 특성규명...23
• 2.1 초격자 제작 방법...23
• 2.2 초격자의 특성규명 방법...29
• 2.3 초격자와 관련분야의 기술현황...37
• 제 3 장 MBE장치의 설치 및 작동상황...45
• 3.1 MBE 장치의 설치...45
• 3.2 MBE 장치의 실험가동...51
• 3.3 초격자 소자 생장을 위한 부대시설...52
• 3.4 MBE장치의 작동 및 현황...54
• 제4장 MBE 작동의 컴퓨터화...57
• 4.1 작업내용 및 필요성...57
• 4.2 Computer interface가 완성된 부분의 내용...59
• 4.3 MBE Computer화의 남은 과제...82
• 제 5 장 MBE를 이용한 시료생장 진행 상황...88
• 5.1 시료 생장에 관한 진행상황 개요...88
• 5.2 MBE 장치의 준비...88
• 5.3 Substrate와 Moly-block의 처리...90
• 5.4 MBE에 의한 Epi-layer 생장...91
• 제6장 생장시료의 분석과 생장방법의 개선...96
• 6.1 Molecular Beam Flux 와 생장박막의 균일성...97
• 6.2 생장박막의 생장속도 분석...102
• 6.3 생장상태의 분석에 관한 토의...111
• 제7장 초격자 특성조사를 위한 실험진행 상황...115
• 7.1 레이저 빛 산란 분광...115
• 7.2 Hall 효과 및 전기비저항 측정...117
• 7.3 Auger Electron Spectroscopy...120
• 제 8 장 맺음말...121