초록 ▼

세라믹과 금속의 접합기술 개발을 위해, A1203, Si3N4, Kovar, 상업용 Ti 재료간의 상호간 Brazing 접합에 관한 최적조건 도출을 위해 Ag-Cu-Ti 계의 여러 가지 Insert Metal 을 이용하여 Direct Brazing 시험을 수행하였다. Brazing 온도, Brazing 시간, 가열속도 및 Penetration Time 등을 접합인자로 하였으며, 접합부에 관한 현미경, SEM 관찰 및 미소분석등을 실시하였다. 세라믹과 금속의 접합은 Insert Metal 중에 포함된 Ti에 의해 세라믹쪽에는 산화피막

세라믹과 금속의 접합기술 개발을 위해, A1203, Si3N4, Kovar, 상업용 Ti 재료간의 상호간 Brazing 접합에 관한 최적조건 도출을 위해 Ag-Cu-Ti 계의 여러 가지 Insert Metal 을 이용하여 Direct Brazing 시험을 수행하였다. Brazing 온도, Brazing 시간, 가열속도 및 Penetration Time 등을 접합인자로 하였으며, 접합부에 관한 현미경, SEM 관찰 및 미소분석등을 실시하였다. 세라믹과 금속의 접합은 Insert Metal 중에 포함된 Ti에 의해 세라믹쪽에는 산화피막과의 반응으로 확산반응층이, 금속쪽에는 금속과 용가재간의 확산층이 형성되므로써 적정한 접합이 이루어지는 것으로 나타났으며, A1203/Kovar 접합의 경우 950°C, 3분의 접합조건이 가장 양호한 접합상태를 나타내었다. 이 때의 확산반응층은 Hv 500-700의 경도를 나타내며 그 폭은 약 2-4㎛이었다. A1203/A1203 접합의 경우에는 950°C, 3분, Si3N4/Si3N4의 경우에는 950°C, 5분 등이 최적조건으로 도출되었다.

목차 Contents

• 1. 서론...12
• 2. 이론적 고찰...14
• 2.1 접합이론...17
• 2.2 열응력...19
• 2.3 젖음성...21
• 2.4 접합 계면에서의 반응...21
• 2.5 확산...23
• 2.6 접합 간격...23
• 3. 실험...31
• 3.1 실험소재...31
• 3.2 실험방법...33
• 3.3 조직검사 및 미소경도 Test...36
• 4. 결과 및 고찰...37
• 4.1 Al₂O₃/Al₂O₃접합부 특성...43
• 4.2 Al₂O₃/Kovar 접합부 특성...46
• 4.3 Si₃N₄/Si₃N₄접합부 특성...46
• 4.4 CP Ti/CP Ti 접합부 특성...53
• 5. 결론...60
• 6. 향후 추진계획...62
• 7. 참고문헌...63