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이온빔 발생을 위한 전자사이클로트론 공명시스템 개발
A study on the Development of ECR Ion Beam Source 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국전기연구원
Korea Electrotechnology Research Institute
연구책임자 김용주
참여연구자 박정후 , 신판석 , 강동식 , 이우영 , 김진봉 , 김윤택
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1993-08
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국전기연구원
Korea Electrotechnology Research Institute
등록번호 TRKO200200005175
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 이온빔.마이크로 웨이브.플라즈마 진단.Ion Beam.Langmuir Probe.Ion Energy Analyzer.Microwave.

초록 ▼

최근 ECR이온원 반도체 및 신소재 산업의 공정장비로 각광받고 있으나 국내외 실정은 도입장비를 이용하여 시험가동을 하거나 선진국의 방식을 제어 하거나 확인하는 수준에 머물러 있다. 본 연구는 ECR이온원 개발과 체계적인 ECR이온원의 특성진단 기법의 개발을 목적으로 한다. 진단기법으로는 Langmuir Probe 와 Energy Analyzer을 사용하여 시간에 따라 변하는 ECR플라즈마에 대해 약 3 KHz로 측정할수 있는 측정회로를 구성하였고 특정 데이타의 일괄처리 프로그램을 완성하였다. ECR플라즈마의 최대 밀도 지점은 ECR

목차 Contents

  • 제1장 서론...13
  • 제2장 ECR 장치의 개요...14
  • 제3장 플라즈마 진단의 기본원리 (Langmuire Probe, Ion Energy Analyzer)...18
  • 제1절 기초이론...18
  • 1. 입자의 흐름...18
  • 2. Debye shielding...20
  • 3. 충돌효과...21
  • 제2절 지장이 없는 비충돌 플라즈마 내에서의 probe 현상...23
  • 1. Sheath 해석...23
  • 2. Sheath 두께...29
  • 3. Sheath 정확한 해석...31
  • 4. 특성해석...33
  • 제3절 자장의 영향...36
  • 1. 일반적 영향...36
  • 2. 강한 자장내의 quasi collisionless 이온 수집...38
  • 3. 자장 존제시 충돌...41
  • 제4절 응용...49
  • 1. Langmuire probe...49
  • 2. Ion energy analyzer...52
  • 제4장 ECR 플라즈마 진단...56
  • 제1절 Probe 진단...56
  • 제2절 Ion energy analyzer 진단...80
  • 제5장 결론...88
  • 참고문헌...89
  • 부록 가. LANGMUIRE PROBE 데이타 처리 프로그램...90
  • 부록 나. ION ENERGY ANALYZER 데이타 처리 프로그램...100

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참고문헌 (25)

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