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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 서상희 |
참여연구자 | 장수경 , 김진상 , 문성욱 , 김긍호 , 김문덕 , 송종형 , 김재환 , 심은덕 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1995-08 |
주관부처 | 과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200007985 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
연구 내용 및 주요 결과
1) RHEED 부착, HgSe 박막성장을 위한 MBE 장치 제작
2) Planar 도핑. n-형의 경우 도핑농도가 증가하고 박막 결정성 향상. Panar p-형 도핑의 경우에 운반자 농도 약간 증가
3) ZnSSe 박막의 DCX 반치폭: 140arcsec
4) ZnMgSSe 박막의 성장 및 결정성 증가 방안 연구
5) X-TEM으로 ZnSe계 박막의 결함 분석. 완충층의 존재와 성장온도, 도핑방법이 결함 밀도와 양자 우물의 계면 평활도에 영향을 미침. Planar 도핑
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