[보고서]Matal용 CMP 장비기술 및 핵심공정기술에 관한 연구

이진구

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Matal용 CMP 장비기술 및 핵심공정기술에 관한 연구
Studies on Technologies for Metal CMP Systems and their Core-Processes 원문보기

보고서 정보
주관연구기관	동국대학교 DongGuk University
연구책임자	이진구
참여연구자	윤형진 , 윤진섭 , 김상명 , 이일형 , 윤관기 , 박균호 , 정철환 , 정병훈 , 이응호 , 조낙희 , 이광수 , 권오진 , 정광영
발행국가	대한민국
언어	한국어
발행년월	1995-10
주관부처	과학기술부
사업 관리 기관	동국대학교 DongGuk University
등록번호	TRKO200200009174
DB 구축일자	2013-04-18

초록

목차 Contents

I.서론...12
II. 연구의 목표와 추진방향...16
III. 계획대비실적...18
IV. 핵심공정기술...19
V. 메탈용 CMP 장비설계...38
VI. 결론...45
VII. 참고문헌...48

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참고문헌 (25)

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