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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2000-12 |
주관부처 | 국무조정실 The Office for Government Policy Coordination |
과제관리전문기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
등록번호 | TRKO200200053157 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 장나노측정기술.MEMS.AFM.나노구조.SE.초박막 계면.대구경 광학계.원격공정측정기술.원격교정.tele-presence.원격교육.nano-metrology.MEMS.AFM.Nano-structure.SE.ultra thin film.advanced process measurement technology.tele-calibration.tele-presence.large aperture optics. |
본 연구는 21세기의 반도체, 정보통신, 신소재, 생명공학, 의료, 우주항공 산업에서필요한 첨단 측정기술을 연구 개발하여 산업경쟁력을 높이는 것을 목적으로 한다. 따라서 날로 극단화, 극 미세화 되어 어려워지고 있는 측정환경과 조건을 극복할 수 있는 신뢰성을 갖춘 측정기술과 기기의 개발과 원자제어와 나노측정기술의 연구, MEMS 기반기술 연구, 첨단 공정측정 기술의 개발을 수행하였다.
This research is to develop advanced measurement technology necessary for the enhancement of competitiveness of the products in semiconductor, information and communication, new materials, bio-technology, medicine, and aerospace industries of the 21st century. Study on reliable and ultra high precis
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