초록 ▼

- 전하밀도가 작고 이온 반지름이 큰 금속 원자와 효과적으로 배위 결합하여 휘발성 있는 단량체의 금속 신구 물질을 제조할 수 있는 전자 주개 윈자를 포함하는 새로운 기능성 리간드를 설계 합성: 금속과 다중 배위 결합할 수 있도록 전자 주개 원자를 2-4개 포함시킨 저렴한 아미노알코올 계열의 리간드와 열 안정성을 줄 수 있는 β-diketonate 변형체 리간드 합성. (20여종)
- 위에서 개발한 리간드를 금속과 반응시켜, 휘발성이 있는 세륨 선구 물질 10여종 합성. (250℃이하에서 잔유물 10% 이하로 증발되는 화합물 합

- 전하밀도가 작고 이온 반지름이 큰 금속 원자와 효과적으로 배위 결합하여 휘발성 있는 단량체의 금속 신구 물질을 제조할 수 있는 전자 주개 윈자를 포함하는 새로운 기능성 리간드를 설계 합성: 금속과 다중 배위 결합할 수 있도록 전자 주개 원자를 2-4개 포함시킨 저렴한 아미노알코올 계열의 리간드와 열 안정성을 줄 수 있는 β-diketonate 변형체 리간드 합성. (20여종)
- 위에서 개발한 리간드를 금속과 반응시켜, 휘발성이 있는 세륨 선구 물질 10여종 합성. (250℃이하에서 잔유물 10% 이하로 증발되는 화합물 합성), Ce(nmp)₄ 화합물의 단결정 구조를 규명하여 설계한 리간드가 두 개의 산소를 통하여 Ce 금속과 2개의 배위 결합을 하여 8배위의 구조를 갖고 있는 것을 확인.
- 위에서 개발한 리간드를 광도파로에서 광증폭을 하는데 쓰이는 Er 금속에 적용하여 휘발성이 있는 Er(mthd)₃와 규소를 포함하는 Er(OSiR₃)₃ 화합물 합성.
- MRI에서 contrast를 증진시키기 위해 조영제로 사용하는 Gd 화합물을 인체에 무해할 것으로 예상되는 아미노알콕사이드 계열의 리간드와 반응을 시켜 Gd(dmaemp)₃ 화합물 합성
- 기존 CVD 딴응기의 구조를 변경하여 규소 기질 위에 CeO₂ 박막을 제조하고 열처리에의한 확산법으로 청색 발광을 보이는 세륨실리케이트 박막 제조.
- 세륨화합물과 TEOS cocktail 용액을 만들어 액체 이송 PECVD 방법으로 수소 분위기 하에서 상온 청색 발광을 보이는 세륨실리케이트 박막 제조.

Abstract ▼

In this study, volatile lanthanide containing compounds have been developed because they are definitely needed to prepare cerium silicate thin films by chemical vapor deposition (CVD). The disadvantage of expensive commercial ligand of β-diketone promoted to develop new organic ligands that are econ

In this study, volatile lanthanide containing compounds have been developed because they are definitely needed to prepare cerium silicate thin films by chemical vapor deposition (CVD). The disadvantage of expensive commercial ligand of β-diketone promoted to develop new organic ligands that are economically cheep and have many functional groups to bind with a metal in multidentate fashion. To give multidentate binding mode to a ligand, electron donation groups such as oxygen and nitrogen have been introduced to the backbone of the organic ligand. Through this strategy, we have developed new aminoalcohol ligands and derivatives of β-diketone. Volatile lanthanide precursors have also synthesized by reacting metal sources with the newly developed organic ligands.
On the other hand, cerium silicate thin films have been prepared by PE-CVD (plasma enhanced CVD) using the synthesized or commercial precursors. Additionally, cerium silicates are also prepared by depositing ceria on a silicon substrate followed by annealing at high temperature through the diffusion of silicon. Then, optical properties have been characterized.

목차 Contents

• 표지..1
• 제출문...3
• 보고서초록...5
• 요약문...6
• SUMMARY...9
• CONTENTS...12
• 목차...13
• 제 1 장 서 론...14
• 제 2 장 국내외 기술개발 현황...16
• 제 1 절 외국의 기술 개발 현황...16
• 제 2 절 국내의 기술 개발 현황...16
• 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과...18
• 제 1 절 시약 및 사용 기기...18
• 제 2 절 MOCVD용 선구 물질의 합성...18
• 1. 리간드의 합성...18
• 2. 금속 착화합물의 합성...34
• 3. 결과 및 고찰...43
• 제 3 절 박막 증착 실험...49
• 1. 실험...49
• 2. 결과 및 고찰...53
• 3. 박막 실험 결과 요약...69
• 제 4 장 연구개발목표 달성도 및 대외기여도...70
• 제 1 절 연구 개발 목표 및 달성도...70
• 제 2 절 대외 기여도...71
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...72
• 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...73
• 제 7 장 참고문헌...74