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유기 EL용 모듈의 성능개선을 위한 ITO 표면 연마장비 개발

Development of Grinding Machine for ITO Surface of Organic EL Modules

보고서 정보
주관연구기관 경북대학교
KyungPook National University
연구책임자 이상룡
참여연구자 안경철 , 김관수 , 배준영 , 김면희 , 박세홍 , 김준업 , 이종혁 , 김성규 , 최윤석
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2003-08
과제시작연도 2002
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200400000043
과제고유번호 1350018631
사업명 정책연구사업
DB 구축일자 2013-04-18

초록

○ 연구개발의 내용 및 결과
유기 EL의 핵심소재인 ITO 코팅유리를 고정도의 표면조도 (Rpv 100Å, Rrms 20Å, Ra 20Å 이하)를 가지도록 연마하는 기술을 개발하기 위하여 연구를 수행하였으며, 다음의 결과를 얻을 수 있었다.
(1) 연마기 설계 기술 개발
ㆍ 프로토타입 설계/제작 및 분석 : 진동의 문제 도출
ㆍ 진동저감설계기술확보
ㆍ 유기 EL용 연마기 개발 : 양산을 위한 ø800기 연마기 개발 (400×500 장착가능)
(2) 검사기 개발
ㆍ 스크래치 검출 알고리즘 개발

Abstract

This research is contents about manufacture technology of ITO coated glass for organic EL. Organic EL is FPD element that have various advantage of that low power consumption, DC drive etc. Because development of IT technology and increasement of use of portable electic equipment -- portable phone,

목차 Contents

  • 1. 서 론...21
  • 2. 연구개발의 필요성 및 목적...23
  • 2.1 유기 EL...23
  • 2.1.1 유기 EL 정의...23
  • 2.1.2 유기EL[OLED]의 장점...25
  • 2.1.3 유기EL[OLED]의 단점...26
  • 2.2 시장동향...28
  • 2.2.1 평판디스플레이 시장...28
  • 2.2.2 유기EL 시장 예측...28
  • 2.3 연구동향...32
  • 2.3.1 Panel 분야 특허 출원 현황...32
  • 2.3.2 Array 분야 특허 출원 현황...33
  • 2.3.3 Driver IC 분야 특허 출원 현황...34
  • 2.3.4 Material 분야 특허 출원 현황...36
  • 2.3.5 연구동향 검토...36
  • 2.4 연구목표...37
  • 2.4.1 연구개발의 필요성...37
  • 2.4.2 연구개발의 목표...39
  • 3. 연마기 개발...40
  • 3.1 연마기 개발/검토...40
  • 3.1.1 연마기 원리 분석...40
  • 3.1.2 연마기 구성...43
  • 3.1.3 개발된 연마기 프로토타입 도면...47
  • 3.2 연마기 문제점 검토 [진동원인분석]...50
  • 3.2.1 진동발생원인분석...50
  • 3.2.2 진동측정...51
  • 3.2.3 진동측정결과...55
  • 3.3 연마기 문제점 개선[진동저감설계]...58
  • 3.3.1 상부회전원반 설계 개선...58
  • 3.3.2 회전지지부의 설계 개선...66
  • 3.3.3 OSC Frame 설계 개선...69
  • 3.3.4 Basement의 설계 개선...71
  • 3.3.5 연마기 설계 개선 결과...73
  • 3.3.6 개선된 연마기도면[프로토타입개선]...77
  • 3.4 800기 개발...80
  • 3.4.1 800기 개발...80
  • 3.4.2 800기 도면...80
  • 4. 검사기 개발...82
  • 4.1 검사기 시스템...82
  • 4.1.1 검사기 개요...82
  • 4.1.2 검사기 세부구성...85
  • 4.1.3 시스템 캘리브레이선...90
  • 4.2 영상처리 알고리즘...92
  • 4.2.1 Binary image 와 Global thershold...92
  • 4.2.2 Adaptive Logical Threshold...92
  • 4.2.3 Labeling...98
  • 4.3 영상처리 프로그램...100
  • 4.3.1 영상처리 프로그램 개요...100
  • 4.3.2 영상처리 프로그램 모듈별 기능설명...101
  • 4.3.3 표면결함 검출시 이용방법...102
  • 4.4 표면결함검출...104
  • 4.4.1 표면결함검출 알고리즘 개요...104
  • 4.4.2 적용결과...105
  • 4.4.3 표면결함검출 결과...109
  • 4.5 표면조도-영상통계량의 관계...110
  • 4.5.1 표면조도와 영상통계량...110
  • 4.5.2 표면조도와 영상통계량의 상관관계...110
  • 4.5.3 상관관계 분석결과...120
  • 5. 연마공정조건수립...121
  • 5.1 연마공정분석...121
  • 5.1.1 전체 공정...121
  • 5.1.2 세부 연마공정...122
  • 5.2 연마파라메터 설정...125
  • 5.2.1 연마제와 슬러리 특성에 따른 파라메터 설정...126
  • 5.2.2 연마기 특성에 따른 파라메터 설정...126
  • 5.3 품질파라메터...129
  • 5.3.1 표면저항[Surface Resistivity]...129
  • 5.3.2 AFM[Atomic Force Microscpe]...132
  • 5.3.3 측정 파라메터 정보...135
  • 5.4 고정운전변수확정...137
  • 5.4.1 소모품결정 - 패드...137
  • 5.4.2 소모품결정 - 슬러리...142
  • 5.4.3 유리의 장작 조건...150
  • 5.4.4 요동축 파라메터 설정...151
  • 5.4.5 연마기 운전조건 - 하정반 회전속도 운전패턴...155
  • 5.5 실험장치설명...157
  • 5.5.1 실험장치개요도...157
  • 5.5.2 연마기...157
  • 5.5.3 슬러리 공급장치...161
  • 5.5.4 측정파라메터...164
  • 5.5.5 측정데이터...166
  • 5.6 파라메터와의 상관관계...168
  • 5.6.1 파라메터와 특성...168
  • 5.6.2 실험계획 및 결과...169
  • 5.6.3 면저항차이[평균치]와의 상관관계...173
  • 5.6.4 면저항차이[Min-Max]와의 상관관계...180
  • 5.6.5 표면조도와의 상관관계...185
  • 5.6.6 연관파라메터정리...187
  • 5.7 운전변수를 이용한 연마결과 추론...189
  • 5.7.1 뉴로 퍼지 시스템...189
  • 5.7.2 뉴로-퍼지를 이용한 연마품질 추론 시스템...195
  • 5.7.3 Rs[AVG] 관련 추론결과...196
  • 5.7.4 Rs[MinMax] 관련 추론결과...198
  • 6. 연구개발결과 및 활용방안...201
  • 6.1 연마 전ㆍ후의 ITO 코팅 유리 표면...201
  • 6.2 연구개발결과...202
  • 6.3 활용방안...203
  • 7. 참고문헌...205

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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