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NTIS 바로가기주관연구기관 | 마이크로인스펙션(주) Micro Inspection.CO.LTD |
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연구책임자 | 은탁 |
참여연구자 | 양선규 , 박세화 , 서일홍 , 양창렬 , 박종인 , 신익승 , 천경일 , 나흥렬 , 최희덕 , 장국현 , 이동준 , 박승진 , 장경택 , 김정국 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2003-11 |
과제시작연도 | 2002 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200400000406 |
과제고유번호 | 1350020798 |
사업명 | 중점국가연구개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
키워드 | 유전체층.검사장비.측정.정전용량.제어기.PDP.short bar.probe.capacitance.controller. |
장비의 설계
- 기구부/제어부/측정부의 설계
- 기존의 전극검사장비에의 Option 개념으로 개발
측정프루브 모듈 개발
- 정전용량 방식을 이용한 측정회로 설계
- 비접촉측정을 위한 공기부상 및 제어기구의 개발
장비기구부의 시작품개발
- 기존의 전극검사프로브모듈을 대체할 수 있는 기구부의 설계의 시작품개발
- 패널 단자부의 전기적인 short를 위한 기존 HBar의 획기적인 성능 개선
장비제어부의 개발
- 장비의 구동부/모터부/센서류의 제어를 위한 H/W 및 S/W의 개발
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