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최근 국내외 플라즈마 연구개발동향조사보고서
State of the Art Report on Domestic and International Plasma Research & Development 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
연구책임자 한전건
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2003-10
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200400000633
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 플라즈마.코팅.에칭.증착.퓨전.plasma.coating.etching,deposition.fusion.

초록 ▼

{\bigcirc}$IT, BT, NT, ET기술 등의 각 분야에 기초가 되는 플라즈마를 이용한 재료합성 및 공정기술, 플라즈마 분해기술, 플라즈마 디스플레이 기술 등의 기반기술에 대한 연구결과 및 연구방향에 대한 발표를 하였다.
{\bigcirc}$IT, BT, NT, 그리고 ET기술의 기반기술이며 핵심기술중의 한가지인 합성, 분해를 위한 플라즈마 발생기술의 국제적 동향 파악 및 방향을 설정하였다.
{\bigcirc}$학술연구 발표 뿐만 아니라 산업화 기술

목차 Contents

  • 제 1 장 연구개발동향 조사배경...5
  • 1.1 국제학술회의 개요...5
  • 1.2 국제학술회의 개최 일시 및 장소, 개최 규모 등...5
  • 1.3 국제학술회의 조직위원회 구성 현황 및 주요 참석인사 등...5
  • 1.4 국제학술회의 개최 배경과 목적...7
  • 1.5 국내 유치ㆍ개최의 목적...9
  • 1.6 국제학술회의 개최에 따른 기대효과...9
  • 제 2 장 플라즈마기술 개요...11
  • 2.1 플라즈마 기술...12
  • 2.2 플라즈마 공정기술 원리...12
  • 2.3 플라즈마 산업 응용...14
  • 2.4 플라즈마 표면처리 기술...15
  • 2.5 플라즈마 코팅 기술...16
  • 2.6 플라즈마 에칭 및 환경정화...17
  • 2.7 플라즈마의 디스플레이 및 전자산업 응용...18
  • 제 3 장 플라즈마 기술의 전반적 국내ㆍ외 기술개발 현황...21
  • 제 4 장 플라즈마 기술의 국내ㆍ외 세부 기술개발 현황...28
  • 4.1 국내 기술개발 현황...28
  • 4.2 국외 기술개발 현황...30
  • 제 5 장 분야별 플라즈마 기술의 국내ㆍ외 기술개발현황...32
  • 5.1 Plasma Etching...32
  • 5.1.1 국내 기술개발 현황...32
  • 5.1.2 국외 기술개발 현황...35
  • 5.2 Plasma Enhanced CVD...36
  • 5.2.1 국내 기술개발 현황...36
  • 5.2.2 국외 기술개발 현황...36
  • 5.3 PVD...46
  • 5.3.1 국내 기술개발 현황...46
  • 5.3.2 국외 기술개발 현황...47
  • 5.4 Bio related Plasma...49
  • 5.4.1 국내 기술개발 현황...50
  • 5.4.2 국외 기술개발 현황...50
  • 5.5 플라즈마의 모델링 및 시뮬레이션...54
  • 5.5.1 국내 기술개발 현황...55
  • 5.5.2 국외 기술개발 현황...56
  • 5.6 Plasma Sources and Diagnostics...58
  • 5.6.1 Plasma Sources...58
  • 5.6.2 Plasma Diagnostics...59
  • 5.7 Inductively Coupled Plasma의 응용...62

참고문헌 (25)

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