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보고서 상세정보

차세대 마이크로 압력센서 시스템 기술개발;스마트 압력센서 기술개발

Development of New Micro Pressure Sensor System Technology;Development of Smart Pressure Sensor Technology

과제명 스마트 압력센서 기술개발
주관연구기관 전자부품연구원
Korean Electronics Technology Institute
연구책임자 박효덕
참여연구자 김규철, 이대성, 김건년, 박광범, 박준식, 성우경, 조남규, 이경일, 조영창, 최연식, 이유진 ...  
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2005-06
과제시작년도 2004
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200500066784
과제고유번호 1350022876
사업명 국가지정연구실사업
DB 구축일자 2015-01-08
초록

1. 고감도 감지구조 및 고정밀 압력센서 설계 기술 개발- 탄성이론을 이용한 원형/정사각형 구조 압력센서 On-lne 시뮬레이션 프로그램 개발- 저압/중압/고압용 고감도 소자 설계 및 최적화 기술개발- 차동형 압력센서 구조 제안(특허...

Abstract

Smart pressure sensor technologies were researched and developed through largely seven sub parts. The first, new or improved struc...