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차세대 마이크로 압력센서 시스템 기술개발;스마트 압력센서 기술개발

Development of New Micro Pressure Sensor System Technology;Development of Smart Pressure Sensor Technology

보고서 정보
주관연구기관 전자부품연구원
Korean Electronics Technology Institute
연구책임자 박효덕
참여연구자 김규철 , 이대성 , 김건년 , 박광범 , 박준식 , 성우경 , 조남규 , 이경일 , 조영창 , 최연식 , 이유진
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2005-06
과제시작연도 2004
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200500066784
과제고유번호 1350022876
사업명 국가지정연구실사업
DB 구축일자 2015-01-08

초록

1. 고감도 감지구조 및 고정밀 압력센서 설계 기술 개발- 탄성이론을 이용한 원형/정사각형 구조 압력센서 On-lne 시뮬레이션 프로그램 개발- 저압/중압/고압용 고감도 소자 설계 및 최적화 기술개발- 차동형 압력센서 구조 제안(특허 10-0404904, 미국 US6651506)2. 검지압력별 감도향상 기술개발 및 이방성/등방성 식각기술에 따른 감지특성 비교 평가- 저압 감지를 위한 감도향상을 위한 보상식각기술을 개발 DB 구축- Center/Double Boss 구조 다이어프램 식각 공정 기술 개발함.- 저두께 및 고정밀 감지 B

Abstract

Smart pressure sensor technologies were researched and developed through largely seven sub parts. The first, new or improved structures of pressure sensors with high sensitivity were designed and simulated. On-line simulation program for pressure sensors with circular and rectangular shapes was deve

목차 Contents

  • 제 1 장 연구개발과제의 개요...14
  • 제 1 절 연구의 필요성...14
  • 제 2 절 연구의 목적...21
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황...23
  • 제 1 절 국외의 연구개발 현황...23
  • 제 2 절 국내의 연구개발 현황...27
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과...32
  • 제 1 절 고감도 감지구조 설계 및 해석 기술 개발...32
  • 제 2 절 저압감지 감도향상을 위한 보상식각 기술 개발...57
  • 제 3 절 Wafer Level 정밀 식각 기술 개발...72
  • 제 4 절 웨이퍼 접합공정 기술개발...86
  • 제 5 절 MEMS Dicing 기술개발...117
  • 제 6 절 센서 신호처리회로 및 Digital Calibration 기술개발...121
  • 제 7 절 센서용 SAR-ADC 기술개발...181
  • 제 8 절 Multi sensor ASIC 개발...209
  • 제 9 절 마이크로 압력센서 패키지 기술개발...232
  • 제 10 절 압력센서 평가시스템...236
  • 제 11 절 마이크로 압력센서 시제품 제작 및 특성 평가...239
  • 제 12 절 스마트 마이크로 압력센서 응용연구...251
  • 1. 용량형 마이크로 차동 압력센서 기술개발...251
  • 2. 반도체식 맥진센서 기술개발...290
  • 3. 봉입형 압력센서 개발...326
  • 4. 압력감지소자를 이용한 진동감지 장치 개발...340
  • 5. SiC 압력센서의 제작에 관한 연구...345
  • 6. 4H-실리콘 카바이드 오믹 접촉에 관한 연구...347
  • 7 정전 용량형 절대압력 센서 개발...354
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...366
  • 제 1 절 계획대비 목표달성도...368
  • 제 2 절 관련분야에의 기여도...373
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...374
  • 제 1 절 추가연구의 필요성...374
  • 제 2 절 타 연구에의 응용...375
  • 제 3 절 기업화 추진방안...375
  • 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...376
  • 제 7 장 참고문헌...383
  • 특정연구개발사업 연구결과 활용계획서...385

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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