초록 ▼

수은을 함유한 발광체는 가장 높은 효율을 지닌 최적화된 발광체이나 수은이 가진 유독성은 심각한 환경문제를 수반하여 수은을 포함하지 않는 발광체의 연구를 요구하였다. 무수은 발광체의 연구는 크게 두 가지 관점으로 나뉘어 진행되었다. 첫 번째는 램프 내부의 전극 구조를 변화시켜 수은에 비해 발광 효율이 떨어지는 무수은 램프의 효율을 향상 시키는 방법이다. 일반적으로 방전을 위해 소모되는 여러 에너지중중 비발광에 사용되어지는 이온화 에너지를 최소화 시켜 같은 에너지 투입 대비 광량을 증가시키는 방법이다. 이를 위해 코로나 플라즈마라는 이

수은을 함유한 발광체는 가장 높은 효율을 지닌 최적화된 발광체이나 수은이 가진 유독성은 심각한 환경문제를 수반하여 수은을 포함하지 않는 발광체의 연구를 요구하였다. 무수은 발광체의 연구는 크게 두 가지 관점으로 나뉘어 진행되었다. 첫 번째는 램프 내부의 전극 구조를 변화시켜 수은에 비해 발광 효율이 떨어지는 무수은 램프의 효율을 향상 시키는 방법이다. 일반적으로 방전을 위해 소모되는 여러 에너지중중 비발광에 사용되어지는 이온화 에너지를 최소화 시켜 같은 에너지 투입 대비 광량을 증가시키는 방법이다. 이를 위해 코로나 플라즈마라는 이론을 도입하여 이온화 영역이 진행되는 영역과 엑시머의 형성이 이루어지는 영역을 전극 구조를 통하여 분리시켰다. needle 타입으로 구성한 단일 코로나 플라즈마는 일반적으로 무수은 램프에 사용되는 coplanar 타입보다 효율이 향상된 것을 확인하였다. 이를 램프에 적용하기 위해 평면에 다수의 코로나 플라즈마를 형성시키기 위한 여러 가지 전극 구조를 도입하여 효율 향상을 확인하였다. 두 번째 접근 방법은 기존의 저압램프의 구조를 사용하되 사용되어지는 발광 기체의 특정 혼합비를 조절하는 것이다. 기체 혼합을 통하여 변화된 플라즈마 내부 E/p는 플라즈마 방전 특성을 변화시키고 발광에 사용되지 못한 저에너지 전자의 에너지 전달을 통해 엑시머의 형성을 유도하였다. 이러한 효율적인 엑시머 형성에 적합한 혼합기체의 조성을 통해 효율 향상을 유도하였다.

목차 Contents

• 제 1 장 사업의 필요성...10
• 제 1 절 기술의개요...10
• 제 2 절 기술개발의 필요성...11
• 제 2 장 기술의 이론적 고찰...13
• 제 3 장 연구 방법 및 결과...16
• 제 1 절 코로나 방전 특성 기초 연구...16
• 제 2 절 면 방전형 코로나 방전...21
• 제 3 절 평판형 램프의 시제작...28
• 제 4 절 형광물질의 최적화...34
• 제 5 절 최적 혼합 가스 개발...37
• 제 6 절 PDMS를 이용한 Tip array 법 개발...61
• 제 4 장 결론...64