[보고서]Mass Flow Controller(MFC)의 성능 평가방법 개발

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Mass Flow Controller(MFC)의 성능 평가방법 개발

보고서 정보
주관연구기관	한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자	최용문
참여연구자	오연균 , 박상록
발행국가	대한민국
언어	한국어
사업 관리 기관	한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science
등록번호	TRKO200800004881
DB 구축일자	2013-04-18

초록

1. 최종목표
가) MFC 성능평가 장치개발
나) MFC 성능평가 절차확립
2. 개발내용 및 결과
0. MFC 성능평가 장치개발
-측정유량 범위 : 1 sccm ~ 2000 slm, 불확도 0.3 % 이내
-압력범위 : 0.1 ~ 0.5 MPa
-온도범위 : 10 ~ 50 ℃
0. MFC 성능평가 절차확립
-최소 유량측정 범위
-응답시간, 직선성, 재현성, 기체의존성, 압력 및 온도 이존성 시험
0. MFC 성능평가 절차서 작성

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참고문헌 (25)

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과제요약정보
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