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스마트 압력센서 기술개발

Development of Smart Pressure Sensor Technology

보고서 정보
주관연구기관 전자부품연구원
Korean Electronics Technology Institute
연구책임자 박효덕
참여연구자 이대성 , 김건년 , 박광범 , 박준식 , 이경일 , 조영창 , 최연식 , 이유진
보고서유형1단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2002-10
과제시작연도 2002
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200800067221
과제고유번호 1350006668
사업명 국가지정연구실사업
DB 구축일자 2015-01-08
키워드 실리콘 센서.마이크로 센서.압력센서.마이크로머시닝.디지털 보정기술.silicon sensor.microsensor.pressure sensor.MEMS.digital trimming.

초록

1. 고감도 감지구조 설계 및 해석 기술 개발
- 탄성이론을 이용한 원형, 정사각형 구조의 압력센서 On-line 시뮬레이션 프로그램을 개발
- 중압용 압력센서 소자 및 boss 구조의 저압용 압력센서 해석 및 설계함.
- 차동형 압력센서 구조 제안 (특허2001-32277, 미국특허 출원 중)
2. 검지압력별 감도향상 기술개발 및 이방성/등방성 식각기술에 따른 감지특성 비교 평가
- 저압 감지를 위한 감도향상을 위한 보상식각기술을 개발 DB 구축
- Center/ Double Boss 구조

Abstract

Smart pressure sensor technologies were researched and developed through largely seven sub parts. The first, new or improved Structures of pressure sensors with high sensitivity were designed and simulated. On-line simulation program for pressure sensors with circular and rectangular shapes was deve

목차 Contents

  • 제 1 장 연구개발과제의 개요...12
  • 제 1 절 연구의 필요성...12
  • 제 2 절 연구의 목적...19
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황...21
  • 제 1 절 국외의 연구개발 현황...21
  • 제 2 절 국내의 연구개발 현황...26
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과...31
  • 제 1 절 고감도 감지구조 설계 및 해석 기술 개발...31
  • 제 2 절 저압감지 감도향상을 위한 보상식각 기술 개발...57
  • 제 3 절 저두께 및 고정밀 감지 Beam 형성 기술 개발...72
  • 제 4 절 Wafer Level 3차원 실리콘 정밀 식각환경 구축...75
  • 제 5 절 와이퍼 접합공정 및 고수율 dicing 기술개발...78
  • 제 6 절 센서 신호처리회로 개발 및 Digital Calibration 기술개발...113
  • 제 7 절 마이크로 압력센서 개발패키지 기술...174
  • 제 8 절 마이크로 압력센서 시제품 제작 및 특성 평가...178
  • 제 9 절 압력센서 평가시스템...193
  • 제 10 절 LC 공진형 실리콘 압력센서 설계 및 단위공정 개발...196
  • 제 4 장 목표달성도 관련분야에의 기여도...199
  • 제 1 절 계획대비 목표달성도...200
  • 제 2 절 관련부야에의 기여도...203
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...204
  • 제 1 절 추가연구의 필요성...204
  • 제 2 절 타 연구에의 응용...206
  • 제 3 절 기업화 추진방안...206
  • 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...207
  • 제 7 장 참고문헌...214

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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