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보고서 상세정보

스마트 압력센서 기술개발

Development of Smart Pressure Sensor Technology

과제명 스마트 압력센서 기술개발
주관연구기관 전자부품연구원
Korean Electronics Technology Institute
연구책임자 박효덕
참여연구자 이대성, 김건년, 박광범, 박준식, 이경일, 조영창, 최연식, 이유진
보고서유형 1단계보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2002-10
과제시작년도 2002
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200800067221
과제고유번호 1350006668
사업명 국가지정연구실사업
DB 구축일자 2015-01-08
키워드 실리콘 센서.마이크로 센서.압력센서.마이크로머시닝.디지털 보정기술.silicon sensor.microsensor.pressure sensor.MEMS.digital trimming.
초록

1. 고감도 감지구조 설계 및 해석 기술 개발
- 탄성이론을 이용한 원형, 정사각형 구조의 압력센서 On-line 시뮬레이션 프로그램을 개발
- 중압용 압력센서 소자 및 boss 구조의 저압용 압력센서 해석 및 설계함....

Abstract

Smart pressure sensor technologies were researched and developed through largely seven sub parts. The first, new or improved Struc...