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NTIS 바로가기주관연구기관 | 연세대학교 Yonsei University |
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연구책임자 | 한재원 |
참여연구자 | 김경식 , 김종백 , 이응만 , 박신증 , 류훈철 , 이진석 , 이윤미 , 김용우 , 양달 , 이광칠 , 박선우 , 은영기 , 최정욱 , 강동원 , 이태경 , 이형우 , 권지안 , 정봉원 , 김인용 , 이동명 , 신희원 , 김도열 , 김성재 , 황학영 , 김상준 , 원종남 , 명원일 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-10 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200800067877 |
과제고유번호 | 1350008430 |
사업명 | 기반기술개발(나노,바이오) |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 광 리소그래피.레이저 광 프로브.나노 패턴 기록.표면 플라즈몬.반도체 공정.Optical lithography.Laser optical probe.Nano patterning.Surface plasmon.Semiconductor process. |
- C 형 나노 개구를 접촉 노광 방식을 사용하여 40 ~ 80 nm 크기 패턴 기록
- 표면 플라즈몬 간섭 리소그래피 시스템을 사용하여 패턴 폭 60 ~ 100 nm 간섭무늬 패턴 기록
- 고 투과 나노 개구 광 프로브 제작
- 단일 나노 광 프로브를 이용한 장치 설계 및 제작
Development of plasmonic nano lithography process technology
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