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NTIS 바로가기주관연구기관 | 아이티엠프라트론연구소 |
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연구책임자 | 서용운 |
참여연구자 | 정희섭 , 김윤택 , 최시영 , 한희민 , 허창희 , 황만수 , 장순필 , 이혜정 , 양순석 , 홍명보 , 김동성 , 장정훈 , 김대훈 |
보고서유형 | 2단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2003-09 |
과제시작연도 | 2002 |
주관부처 | 과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900071556 |
과제고유번호 | 1350000382 |
사업명 | 국가지정연구실사업 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
키워드 | 투명전도막.박막공정.순시 플라즈마 제어.표면가열.대전류 이온소스.TCO.Thin Film.Time-variant.Surface Heating.High Current Ion Source. |
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The development of TSCS(Time-variant Synchronized Composite Source) technology for low temperature TCO thin film deposition - combination of low voltage plasma source / low energy high current ion beam source - optimal design and manufacture of power supplier for a order of
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