초록 ▼

- 개발 목표
기존의 정전기 제거 장치는 고전압을 세심의 방전 침에 인가한 정전기 제거 장치로써, 방전침에 의한 발진, 전자기 유도 현상, 오존의 발생 및 불안정한 정전기 제거 기능의 단점을 가지고 있었다. 반면에, 연구개발의 결과로 개발된 x-선을 이용한 정전기 제거 장치는 대전된 물체 또는 정전기 발생 공정에 x-선을 직접 조사하여 주위의 공기를 이온화시켜 대전 물체의 정전기 레벨을 $\pm$ 10V이내로 중화시키는 차세대 정전기 제거 장치이다.
- 연구개발 결과
방사선 조사식 정전기 제거 장

- 개발 목표
기존의 정전기 제거 장치는 고전압을 세심의 방전 침에 인가한 정전기 제거 장치로써, 방전침에 의한 발진, 전자기 유도 현상, 오존의 발생 및 불안정한 정전기 제거 기능의 단점을 가지고 있었다. 반면에, 연구개발의 결과로 개발된 x-선을 이용한 정전기 제거 장치는 대전된 물체 또는 정전기 발생 공정에 x-선을 직접 조사하여 주위의 공기를 이온화시켜 대전 물체의 정전기 레벨을 $\pm$ 10V이내로 중화시키는 차세대 정전기 제거 장치이다.
- 연구개발 결과
방사선 조사식 정전기 제거 장치 시작품 제작 및 Tube 신뢰성 검사
1. 방사선원용 X-ray tube 시작품 제작
- Radiation window : Be, Target material : W or Au
- Target focal area : $\fallingdotseq$ $\leq$ 1mm dia, Target 전압 : $\leq$ 15KVdc
2. 고전압 발생장치 시작품 제작
- Target 전압 : $\leq$ 15KVdc, Grid 1 : Beam cut-off voltage
3. 조작 판넬부 제작
- 사용기간표시, 동작상태표시, 외부조작, EMG기능
4. 헤더부 시작품 제작
- 조사창외 X-ray 차폐가 기구설계 및 제작, 각도 : 115$\deg$ 이상
5. 전원부 시작품 제작
- 고전압 발생장치, 조작 판넬부 전원 공급
6. X-ray tube 신뢰성 검사 규정
- 성능 시험 : 정전기 제거능력, 조사각, 수명
- 신뢰성 검증 : X-ray 실효선량 측정

Abstract ▼

In fabrication of the Display(LCD, PDP), Semiconductor, High-tech PCB, Electronic part, the generation of static electricity has been one of the major factor in yield and reliability of final products and a grave impediment in raising the device integration.
A new anti-static ionizer has been dev

In fabrication of the Display(LCD, PDP), Semiconductor, High-tech PCB, Electronic part, the generation of static electricity has been one of the major factor in yield and reliability of final products and a grave impediment in raising the device integration.
A new anti-static ionizer has been developed using the radiation irradiation.
This anti-static ionizer to completely overcome the disadvantages of the conventional ionizers.
Radiation(x-ray) is irradiated to the vicinity of a charged substrate and generates many ions and electrons. Both of them are used for neutralizing charged substrate, environments(manufacturing process of large sized LCD, PDP. manufacturing process of semiconductor, manufacturing process of precision printing, manufacturing and assembly line of electronic part, etc).

목차 Contents

• 제 1 장 연구개발과제의 개요...9
• 1절. 연구개발의 필요성...9
• 1. 기술적 측면...9
• 2. 경제$\cdot$산업적 측면...10
• 3. 사회$\cdot$문화적 측면...11
• 제 2 장 국내외 기술개발 현황...13
• 1절. 국내외 기술개발 현황...13
• 2절. 연구결과로 인한 국내외 기술개발 현황에서 차지하는 위치...13
• 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과...15
• 1절. 모델링...15
• 1. x-선 튜브 모델링...15
• 2절. 방사선 조사식 정전기 제거 장치 제작...43
• 2. 구성도...43
• 3절. 제작된 방사선 조사식 정전기 제거 장치의 성능 실험...46
• 제 4 장 목표달성도 및 관련 분야에의 기여도...52
• 1절. 목표 및 달성도...52
• 1. 최종 목표...52
• 2. 당해 단계목표 및 달성도...52
• 3. 제품 성능 검사 및 평가 착안 점...54
• 제 5장 연구개발 결과의 활용 계획...56
• 1절. 연구개발결과 활용방안...56