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MEMS 부품제조를 위한 나노 리소그래피 공정 기술 개발

보고서 정보
주관연구기관 경북대학교
KyungPook National University
연구책임자 김영석
참여연구자 양승한 , 현상일 , 원성연 , 김찬일 , 권성환 , 전재성 , 박진기
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2005-10
과제시작연도 2004
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200900072210
과제고유번호 1350008517
사업명 나노바이오기술개발
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 멤스.나노.리소그래피.분자동력학.인덴테이션.MEMS.NANO.LITHOGRAPHY.MOLECULAR DYNAMICS.INDENTATION.

초록

본 연구에서는 3차원 MD 해석 프로그램 개발을 통하여 나노 리소그래피와 나노 인덴테이션의 해석을 수행하였다.나노 리소그래피 해석을 통하여 리소그래피에서의 공정변수(공구형상, 공구크기, 온도, 절삭면의 결정방향 등)의 영향을 파악하였고, 나노 인덴테이션 해석을 통하여 위의 공정변수들이 재료의 물성치(영률과 경도)에 미치는 영향을 알아보았다. 또한 이러한 공정변수들의 영향이 근본적으로는 재료 내부의 전위에서 온다고 보고 각 해석에서의 전위의 거동을 고찰해 보았다. 당초 계획서상의 병렬화는 장비의 부족으로 수행하지 못했지만,이의 대안으

Abstract

In this research, we achieved nano lithography and nano indentation simulation by developing molecular dynamics(MD) simulation programs. In the nano lithography simulation, we performed to evaluate the effects of crystallographic factors and process variables on the nano deformation characteristics.

목차 Contents

  • 제 1 장 연구개발과제의 개요...7
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황...10
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과...11
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...72
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...74
  • 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...75
  • 제 7 장 참고문헌...79

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참고문헌 (25)

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