초록 ▼

ㅇ 전자빔 조사에 의한 강유전체 편극 도메인 패턴 형성
- 부분적으로 금속막이 덮힌 단일 편극의 강유전체 표면에 전자빔을 조사하여 전자빔 노출 영역의 도메인 편극 역전 형성
- 전자빔의 에너지, 조사량(dose), 전류에 따른 도메인 역전 영역 크기, 깊이 조절
- 마이크론에서 서브마이크론 크기의 패턴된 금속 마스크를 이용한 주기적으로 편극이 패턴된 강유전체 제작 및 공정 확보
ㅇ 전자빔 조사에 의해 형성된 도메인 패턴의 형성 메커니즘 규명
- 도메인 역전 영역의 Raman, PL 측정을 통한 강유전체 구

ㅇ 전자빔 조사에 의한 강유전체 편극 도메인 패턴 형성
- 부분적으로 금속막이 덮힌 단일 편극의 강유전체 표면에 전자빔을 조사하여 전자빔 노출 영역의 도메인 편극 역전 형성
- 전자빔의 에너지, 조사량(dose), 전류에 따른 도메인 역전 영역 크기, 깊이 조절
- 마이크론에서 서브마이크론 크기의 패턴된 금속 마스크를 이용한 주기적으로 편극이 패턴된 강유전체 제작 및 공정 확보
ㅇ 전자빔 조사에 의해 형성된 도메인 패턴의 형성 메커니즘 규명
- 도메인 역전 영역의 Raman, PL 측정을 통한 강유전체 구조에 전자빔의 영향 분석
- 전자빔 조사 조건에 따른 역전 도메인 형성 상호 관계 분석
- PFM, SKPM를 이용한 도메인 패턴된 표면의 전자적 구조 및 표면포텐셜에너지 분석
- 전자빔 조사로 인한 강유전체 내의 전자분포 및 전기장 형성과 편극방향 역전의 상관관계 규명 및 이론적 모델 개발

Abstract ▼

O Fabrication of ferroelectric polarization domain patterns by electron beam irradiation
- Carry out e-beam irradiation on the LiNbO3 single crystals covered partially with thin metal and form domain polarity change on the exposed area.
- Investigation of the relationship between e-beam energy

O Fabrication of ferroelectric polarization domain patterns by electron beam irradiation
- Carry out e-beam irradiation on the LiNbO3 single crystals covered partially with thin metal and form domain polarity change on the exposed area.
- Investigation of the relationship between e-beam energy and dose with the size of reversed domain and depth of domain.
- Fabrication of a periodically domian-patterned ferroelectric crystal using micro size patterned metal mask.
O Investigate the mechanism of domain inversion by high energy e-beam irradiation.
- Analyze the e-beam effect on the domain reversed region with Raman, PL
- Analyse the formation of the reversed domain depending on the e-beam condition.
- Analyse the surface potential energy and electronic structure of domian patterns with PFM, SKPM.
- Explain relationship between the domain inversion and internal electric field.

목차 Contents

• 표지...1
• 제출문...2
• 보고서 초록...3
• 요약문...4
• SUMMARY...6
• 목차...9
• 제 1 장 연구개발과제의 개요...10
• 제 1 절 연구개발의 목적...10
• 제 2 절 연구개발의 필요성...10
• 제 3 절 연구범위...12
• 제 2 장 국내외 기술개발 현황...13
• 1. 국내외 강유전체 편극 패턴 연구현황...13
• 2. 국내외 대용량 전자빔 조사를 이용한 물질의 표면 패턴닝 연구현황...14
• 3. 본 연구의 전자빔 활용 극성 패턴닝 방법 개발의 국내외 연구현황에서의 위치...15
• 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과...17
• 제 1 절 최종 목표...17
• 제 2 절 연구 방법, 내용 및 결과...17
• 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...29
• 제 1 절 연구개발목표의 달성도 및 자체평가...29
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...31
• 1. 기술적 측면...31
• 2. 경제적 측면...32
• 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...33
• 제 7 장 참고문헌...34
• 연구개발 요약서...35
• 연구결과활용계획서...37