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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 송창규 |
참여연구자 | 강재훈 , 경진호 , 김경호 , 김동훈 , 김두형 , 김병섭 , 노승국 , 박종권 , 박찬훈 , 박천홍 , 박형욱 , 송준엽 , 심종엽 , 오정석 , 이승우 , 이찬홍 , 이창우 , 이현용 , 임선종 , 정광조 , 최기봉 , 최대봉 , 하태호 , 황주호 , 강경수 , 권순근 , 김수현 , 문건우 , 이종현 , 임동현 , 조대연 , 최성옥 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-03 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 지식경제부 |
사업 관리 기관 | 지식경제부 |
등록번호 | TRKO201000006847 |
과제고유번호 | 1415092056 |
사업명 | (연구회소관출연기관)한국기계연구원<산업> |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 블루레이 마스터링 장비.진공환경용 초정밀 스테이지.전자빔 컬럼.빔블랭커.전자빔 포커스 측정 시스템.빔블랭커.초정밀 소형로봇.Blu-ray mastering device.Vacuum-compatible ultra precision stage.E-beam column.Beam blanker.E-beam focus measurement system.Ultra precision manipulator. |
본 과제는 차세대 저장매체와 같이 고밀도 패턴을 형성하기 위한 진공환경용 초정밀가공장비 핵심기술을 개발하는 과제로 크게 다음의 5가지 세부기술로 나누어 연구가 이루어졌음.
1. 진공용 초정밀 운동요소
- 진공용 직선스테이지 설계/제작 및 성능평가
- 진공용 공기베어링 설계 및 이를 이용한 회전테이블 설계/제작, 성능평가
- 진공도 평가 및 동기제어기술 개발
2. E-beam 컬럼 및 빔 제어
- E-beam 렌즈설계 및 경통제작
- E-beam 제어보드 설계 및 스팟사이즈 측정
3. E-b
A demand for ultra-precision machining equipment in a vacuum environment has been increasing, especially for generating high density nano-size patterns on next-generation-storage media such as Blu-ray disc. The objective of this research is to develop common core technologies for ultra-precision mac
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