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연합인증

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전자빔 기반 나노 측정 장비 개발 과제
Development of electron beam based nano-metrological equipment 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 코닉시스템(주)
연구책임자 곽신웅
보고서유형중간보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2007-09
과제시작연도 2007
주관부처 산업자원부
과제관리전문기관 한국산업기술평가원
등록번호 TRKO201000010441
과제고유번호 1415077869
사업명 중장기산업기술개발(구.산학연기술개발(구 중장기전략기술개발))
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 SEM.FE-SEM.electron gun.Vacuum system.specimen chamber.electromagnetic lens system.stage.column.

초록

전계방출을 이용한 전자현미경의 방출소자는 텅스텐으로 만들어지고 제작법은 일반적으로 전기화학적 부식방법을 이용한다. 아래는 텅스텐을 이용한 전계방출소자의 제작을 위한 제작 시스템과 제작된 소자의 형상을 보인다.

목차 Contents

  • 진도보고서 ...1
  • I. 당해연도 추진 실적 ...2
  • I-1 기술개발 추진 일정 ...2
  • I-2 당해연도 추진 실적 ...3
  • II. 기술개발결과 ...30
  • 1. 논문 ...30
  • 2. 특허 ...31
  • III. 결론 및 향후계획 ...32
  • 1. 결론 ...32
  • 2. 향후 계획 ...33
  • IV. 사업비 사용현황 (세부기관) ...35
  • V. 사업비 사용현황 (위탁기관) ...36
  • 세부과제 자체 평가의견서 ...37

참고문헌 (25)

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