초록 ▼

1. 연구개발 목표
향후 중요한 에너지원으로 부상하게 될 수소의 제조 및 저장, 그리고 각종 이용분야에서 안전 및 제어에 필수적인 수소센서를 제작하고 이를 이용한 수소 탐지기를 제작한다.
2. 연구개발 결과
1) 미세가공
- 센서기판 크기: 2.2mm x 2.2mm (1,500개/4인치 웨이퍼)
- 백금히터 크기: 폭 10um, 두께 2um
- 감지체 크기: 0.1mm x 0.1mm
- 캐비티 크기: 면적 600um x 600um, 깊이 200um
2) 센서특성
- 감지도:

1. 연구개발 목표
향후 중요한 에너지원으로 부상하게 될 수소의 제조 및 저장, 그리고 각종 이용분야에서 안전 및 제어에 필수적인 수소센서를 제작하고 이를 이용한 수소 탐지기를 제작한다.
2. 연구개발 결과
1) 미세가공
- 센서기판 크기: 2.2mm x 2.2mm (1,500개/4인치 웨이퍼)
- 백금히터 크기: 폭 10um, 두께 2um
- 감지체 크기: 0.1mm x 0.1mm
- 캐비티 크기: 면적 600um x 600um, 깊이 200um
2) 센서특성
- 감지도: 5이상
- 측정범위: 0.02 ~ 10%
- 감지속도: 0.3sec 이내
- 소비전력: 50mW 이하
- 선택성: 아이소부탄의 500배 이상
3. 연구개발 성과
- 수소센서와 관련된 하드웨어 및 소프트웨어 기술확보 및 수소감지기 제작
4. 기대효과
수소센서기판, 수소감지기 기술 등은 연료전지 및 수소연구에 당장 적용할 수 있을 뿐만 아니라, 향후 수소에너지의 상용화를 촉진할 수 있는 근간기술로 자리매김할 수 있을 것으로 생각한다.

Abstract ▼

Hydrogen has the advantage of unlimited availability without environmental pollution, because it can be obtained from electrolysis of water and produces water after burning. It is a promising potential fuel for cars, buses, and other vehicles and can be converted into electricity in fuel cells. It

Hydrogen has the advantage of unlimited availability without environmental pollution, because it can be obtained from electrolysis of water and produces water after burning. It is a promising potential fuel for cars, buses, and other vehicles and can be converted into electricity in fuel cells. It also is already used in medicine and space exploration as well as in the production of industrial chemicals and food products. However, Safety is an important issue when using hydrogen, because of its the volatility of hydrogen, its tendency to explode at concentrations as low as 4% in air.
Development of hydrogen sensor demonstrating ultra-high sensing property for hydrogen gas is urgently needed because of the use of hydrogen as a fuel. Especially, in the fuel cell cars industry, the miniaturized, low cost and low power consumption sensor more getting required. Micro-machined sensor using CMOS processing can be made smaller, be low cost. because of ability of mass production through the batch process.

목차 Contents

• 제출문...1
• 보고서 초록...2
• 요약문...3
• Summary...6
• contents...7
• 목차...8
• 제1장 연구개발과제의 개요 ...9
• 제1절 연구개발의 목적 및 필요성 ...9
• 제2절 연구개발의 범위 ...11
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ...12
• 제1절 외국의 기술개발 현황 ...12
• 제2절 국내의 기술개발 현황 ...16
• 제3절 조사연구개발사례에 대한 평가 ...17
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ...18
• 제1절 서론 ...18
• 제2절 개발센서의 동작원리 ...18
• 제3절 개발센서의 구조 ...20
• 제4절 개발센서의 제작공정 ...22
• 제5절 개발센서의 특성 ...28
• 제6절 생산성 평가 ...42
• 제7절 수소 감지기 제작 및 알고리즘 ...45
• 제8절 여러 가지 센서하우징 및 적용시스템 ...47
• 제9절 결론 및 향후과제 ...49
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ...50
• 제1절 연구개발목표의 달성도 ...50
• 제2절 관련분야 기술발전 기여도 ...53
• 제5장 연구개발결과의 활용계획 ...55
• 제1절 연구개발성과의 실용화 ...55
• 제2절. 연구개발을 통해 파생된 성과 ...56
• 제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ...57
• 제7장 참고문헌 ...58
• 첨부 : 수소 감지기 회로도 및 프로그램 ...60