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기능성 초접착 표면 제작을 위한 대면적 나노공정 기술 개발

보고서 정보
주관연구기관 서울대학교
Seoul National University
연구책임자 서갑양
참여연구자 정훈의 , 김재관 , 이성훈 , 곽문규 , 오상근 , 강도현
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2010-06
과제시작연도 2009
주관부처 교육과학기술부
사업 관리 기관 한국연구재단
등록번호 TRKO201000013155
과제고유번호 1345101245
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 나노공정,멤스,고종횡비,게코도마뱀,접착표면,생체모사Nanofabrication,Microelectromechanical systems,High aspect ratio,Gecko lizard,Adhesion surface,Biomimetics

초록

1. 나노 신장기술을 통한 고종횡비의 나노 섬모 제작
몰드와 고분자, 기판 사이의 표면 에너지를 측정, 분석하여 신장, 몰딩, 갈라짐을 판단하여 적절한 신장 조건을 확립. 열가소성 수지를 사용하여 직경 80 nm, 종횡비 20 이상의 미세 섬모 제작
2. 열가소성 수지를 사용한 계층구조 제작
PMMA, PS등의 열가소성 수지를 PDMS 몰드를 이용하여 1차 구조물을 형성하고 그 위에 PUA 몰드를 사용하여 2차 미세 구조물을 형성함
3. UV 경화성 수지를 사용한 계층구조 제작
PUA를 사용하여 공정을 진

Abstract

Academic aspect
- Securing core technologies for fabrication of micro/nano hierarchical nanohairs with controlled leaning angle.
- Securing nanofabrication techniques such angled etching, high aspect ratio structure molding, and partial UV crosslinking.
- Securing optimized adhesion mechani

목차 Contents

  • 제출문 ...1
  • 보고서 초록 ...2
  • 요약문 ...3
  • SUMMARY ...11
  • CONTENTS ...12
  • 목차 ...13
  • 제1장 연구개발과제의 개요 ...14
  • 제1절 연구개발의 목적 및 필요성 ...14
  • 제2절 연구개발의 내용 및 범위 ...17
  • 제2장 국내외 기술개발 현황 ...19
  • 1. 국내 연구 현황 ...19
  • 2. 국외 연구 현황 ...21
  • 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ...23
  • 제1절 연구 개발 수행 내용 ...23
  • 제2절 연구 개발 수행 내용에 따른 결과 ...29
  • 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ...50
  • 제1절 연구개발 목표 및 평가 착안점 ...50
  • 제2절 목표 달성 현황 ...52
  • 제5장 연구개발결과의 활용계획 ...60
  • 1. 의공학 점착 패치 ...60
  • 2. 건식점착패드를 사용한 정밀 산업 부품의 운송/고정 ...61
  • 3. Graphene, metal 전사를 이용한 소자 개발 ...62
  • 제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ...63
  • 제7장 참고문헌 ...64
  • [첨부1] ...65
  • [첨부2] ...76

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참고문헌 (25)

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