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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
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연구책임자 | 서갑양 |
참여연구자 | 정훈의 , 김재관 , 이성훈 , 곽문규 , 오상근 , 강도현 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-06 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201000013155 |
과제고유번호 | 1345101245 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 나노공정,멤스,고종횡비,게코도마뱀,접착표면,생체모사Nanofabrication,Microelectromechanical systems,High aspect ratio,Gecko lizard,Adhesion surface,Biomimetics |
1. 나노 신장기술을 통한 고종횡비의 나노 섬모 제작
몰드와 고분자, 기판 사이의 표면 에너지를 측정, 분석하여 신장, 몰딩, 갈라짐을 판단하여 적절한 신장 조건을 확립. 열가소성 수지를 사용하여 직경 80 nm, 종횡비 20 이상의 미세 섬모 제작
2. 열가소성 수지를 사용한 계층구조 제작
PMMA, PS등의 열가소성 수지를 PDMS 몰드를 이용하여 1차 구조물을 형성하고 그 위에 PUA 몰드를 사용하여 2차 미세 구조물을 형성함
3. UV 경화성 수지를 사용한 계층구조 제작
PUA를 사용하여 공정을 진
Academic aspect
- Securing core technologies for fabrication of micro/nano hierarchical nanohairs with controlled leaning angle.
- Securing nanofabrication techniques such angled etching, high aspect ratio structure molding, and partial UV crosslinking.
- Securing optimized adhesion mechani
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