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보고서 상세정보

산화물/실리콘 계면 특성조사를 통한 산화물 박막의 초기 성장 메커니즘 연구

The interface interdiffusion characteristics of oxide thin films on Si substrates

과제명 산화물/실리콘 계면 특성조사를 통한 산화물 박막의 초기 성장 메커니즘 연구
주관연구기관 부산대학교 산학협력단
연구책임자 박성균
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2010-04
과제시작년도 2009
주관부처 교육과학기술부
사업 관리 기관 한국연구재단
등록번호 TRKO201000013557
과제고유번호 1345105107
사업명 일반연구자지원
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 계면 물성.x선 분광현상.산화물 박막.산화물전자소재.박막의 초기성장 조건.완화층.interface.PES.oxide thin films.electroceramics.initial growth condition.buffer layer.
초록

● 금속 산화물 박막 (Yttrium stabilized zirconia)의 초기 성장 메커니즘 연구를 통해서 Si와 금속산화물박막 계면에서의 화학적 상태 (interdiffuion, chemical reaction 등등)에 따른 산...

Abstract

● Investigate the initial growth mechanism of simple oxide layers such as Yttrium stabilized zirconia, and ZnO are grown on Si sub...