초록 ▼

● 금속 산화물 박막 (Yttrium stabilized zirconia)의 초기 성장 메커니즘 연구를 통해서 Si와 금속산화물박막 계면에서의 화학적 상태 (interdiffuion, chemical reaction 등등)에 따른 산화물 박막의 구조를 비파괴 방법 (x-ray reflectometry, angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy)을 통해서 연구한다.
● 박막의 성장 조건 (산소 분압, 기판의 온도)의 변화에 따른 연구를 통해 최적화된 금속산화물 박막과 계면상태의 상호관

● 금속 산화물 박막 (Yttrium stabilized zirconia)의 초기 성장 메커니즘 연구를 통해서 Si와 금속산화물박막 계면에서의 화학적 상태 (interdiffuion, chemical reaction 등등)에 따른 산화물 박막의 구조를 비파괴 방법 (x-ray reflectometry, angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy)을 통해서 연구한다.
● 박막의 성장 조건 (산소 분압, 기판의 온도)의 변화에 따른 연구를 통해 최적화된 금속산화물 박막과 계면상태의 상호관계에 대해 연구한다.

Abstract ▼

● Investigate the initial growth mechanism of simple oxide layers such as Yttrium stabilized zirconia, and ZnO are grown on Si substrate etc using non-destructive tools such as angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy and x-ray reflectometer.
● Investigate the effect on growth parameters s

● Investigate the initial growth mechanism of simple oxide layers such as Yttrium stabilized zirconia, and ZnO are grown on Si substrate etc using non-destructive tools such as angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy and x-ray reflectometer.
● Investigate the effect on growth parameters such as partial pressure, substrate temperature to have optimum buffer layers.

목차 Contents

• 최종보고서(초안) ...1
• 목차 ...3
• I. 연구 계획 요약문 ...4
• 1. 국문 요약문 ...4
• II. 연구 결과 요약문 ...5
• 1. 국문 요약문 ...5
• 2. 영문 요약문 ...6
• III. 연구내용 및 결과 ...7
• 1. 연구개발과제의 개요 ...7
• 2. 국내외 기술개발 현황 ...10
• 3. 연구수행 내용 및 결과 ...12
• 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ...31
• 5. 연구 결과의 활용 계획 ...31
• 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ...31
• 7. 주관연구책임자 대표적 연구 실적 ...32
• 8. 참고 문헌 ...32
• 9. 연구 성과 ...34
• 10. 기타사항 ...35
• [별첨1]대표연구성과 ...36
• 자체평가 의견서 ...37