초록

- 본 연구의 목적은 전해도금 방식을 이용하여 잔류응력이 100 MPa 이하인 질화갈륨계 수직형 청색 발광소자용 통전성 구리합금 후막기판을 개발하는 데 있다.
- 구체적 연구내용은 후막기판의 기계적 강도를 높이고, 전기적, 열적 특성의 손실을 최소화할 수 있도록 텅스텐의 함량을 조절한 구리-텅스텐 합금 후막기판의 전해도금 합성을 포함한다. 구리-텅스텐 합금 후막기판의 특성을 최적화하기 위한 도금액 합성과 전해도금 조건 제어를 통해 잔류응력 최소화의 목표를 달성한다.

Abstract ▼

- The purpose of this study is to develop Cu-alloy mechanical supporter with residual stress less than 100 MPa for GaN-based vertical type blue light emitting diode (LED) by electrochemical deposition (ECD).
- This study includes the enhancement of mechanical strength, the minimization of reducti

- The purpose of this study is to develop Cu-alloy mechanical supporter with residual stress less than 100 MPa for GaN-based vertical type blue light emitting diode (LED) by electrochemical deposition (ECD).
- This study includes the enhancement of mechanical strength, the minimization of reduction in electrical and thermal properties, and the control of tungsten content while the synthesis of Cu-W alloy mechanical supporter by ECD is carried out. 'Stress-free' Cu-W alloy mechanical supporters can be achieved by designing brand new electrolytes and manipulating process parameters in ECD.

목차 Contents

• 일반연구자지원사업 최종보고서(초안) ...1
• 목차 ...2
• I. 연구 계획 요약문 ...3
• 1. 국문 요약문 ...3
• II. 연구 결과 요약문 ...4
• 1. 국문 요약문 ...4
• 2. 영문 요약문 ...5
• III. 연구내용 및 결과 ...6
• 1. 연구 개발 과제의 개요 ...6
• 2. 국내.외 기술 개발 현황 ...9
• 3. 연구 수행 내용 및 결과 ...13
• 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ...47
• 5. 연구 결과의 활용 계획 ...49
• 6. 연구 과정에서 수집한 해외 과학기술 정보 ...50
• 7. 주관연구책임자 대표적 연구 실적 ...52
• 8. 참고 문헌 ...52
• 9. 연구 성과 ...53
• 10. 기타사항 ...53