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보고서 상세정보

반도체 고온프로세스용 ware의 결정화 방지기술 개발

과제명 반도체 고온프로세스용 ware의 결정화 방지기술 개발
주관연구기관 주식회사 새빛
연구책임자 박성은
참여연구자 오한석, 김신, 김민
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2004-03
과제시작년도 2003
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 한국산업기술평가원
등록번호 TRKO201000015340
과제고유번호 1420000296
사업명 중소기업기술혁신개발
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 반도체.고온프로세스.천이금속.결정화.투과율.ware.
초록

1. 기술개발목표
반도체 고온프로세스용 ware의 결정화 방지기술을 개발하기 위하여 실리카 유리내의 금속불순물 중 Fe과 Cr은 0.5ppm 이하, Ni과 Cu는 0.1ppm 이하로 제어하고, 실리카유리의 300㎚ 파장에서의 U...

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