최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 주식회사 새빛 |
---|---|
연구책임자 | 박성은 |
참여연구자 | 오한석 , 김신 , 김민 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2004-03 |
과제시작연도 | 2003 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201000015340 |
과제고유번호 | 1420000296 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 반도체.고온프로세스.천이금속.결정화.투과율.ware. |
1. 기술개발목표
반도체 고온프로세스용 ware의 결정화 방지기술을 개발하기 위하여 실리카 유리내의 금속불순물 중 Fe과 Cr은 0.5ppm 이하, Ni과 Cu는 0.1ppm 이하로 제어하고, 실리카유리의 300㎚ 파장에서의 UV 투과율이 90% 이상이 되도록한다.
2. 기술개발의 목적 및 중요성
반도체 고온 프로세스의 ware용 재료로 사용되는 실리카유리는 그 우수한 열적, 기계적, 화학적 특성 때문에 반도체 산업뿐만 아니라 최근 폭발적으로 수요가 증가하고 있는 LCD 등의 디스플레이 재료 및 제조공정에 중요하게
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.