초록 ▼

반도체 소자업체들은 갈수록 경쟁이 심화되는 반도체 시장 다변화에 신속히
대응하기 위해 경영 혁신 및 생산 효율성 제고, 신제품 개발, 신기술 개발 등의
다각적인 노력을 기울이고 있다. 이에 따라 반도체 관련 업체에서는 기존 생산
관리 시스템(MES : Manufacturing Execution System) 중심의 ‘수율 관리(Yield
Management)’뿐 아니라 장비 엔지니어링 시스템(EES : Equipment
Engineering System)중심의 ‘반도체 설비 생산성 향상’에 대한 관심을 높

반도체 소자업체들은 갈수록 경쟁이 심화되는 반도체 시장 다변화에 신속히
대응하기 위해 경영 혁신 및 생산 효율성 제고, 신제품 개발, 신기술 개발 등의
다각적인 노력을 기울이고 있다. 이에 따라 반도체 관련 업체에서는 기존 생산
관리 시스템(MES : Manufacturing Execution System) 중심의 ‘수율 관리(Yield
Management)’뿐 아니라 장비 엔지니어링 시스템(EES : Equipment
Engineering System)중심의 ‘반도체 설비 생산성 향상’에 대한 관심을 높여가
고 있다. 이는 결국 ‘e-Manufacturing’이라는 목표로 공장 자동화 시스템이 개
선되고 있다는 것을 의미한다.
현재 반도체 업계에서 활용되고 있는 대부분의 장비들은 SECS(SEMI
Equipment Communication Standard) /GEM(General Equipment
Model)/HSMS(High-speed SECS Message Service)와 같은 P2P 방식의 표준
프로토콜로 장비 서버와 통신을 하고 있다. 하지만 이런 프로토콜은 생산성 향
상에 결정적 역할을 하고 있음에도 불구하고, 사용자가 장비의 데이터에 쉽게
접근할 수 없도록 하는 제약 사항도 가지고 있다.

Abstract ▼

As the competition between semiconductor enterprises is deepened as
time elapses, the enterprises put their best efforts on confronting rapid
market diversification with management renovation, production yield
management, new product development and updated technology
development. To enc

As the competition between semiconductor enterprises is deepened as
time elapses, the enterprises put their best efforts on confronting rapid
market diversification with management renovation, production yield
management, new product development and updated technology
development. To encounter the confronted problems, the semiconductor
enterprises started raising productivity of their production devices with new
Equipment Engineering System (EES) along with their existing
Manufacturing Execution System. This means that the enterprises are
evolving their factory automation system to the ultimate goal of,
‘e-Manufacturing’ or ‘e-Diagnostics’.
Currently, most semiconductor production devices include the industry
standard protocols called SECS (SEMI Equipment Communication Standard),
GEM (General Equipment Model) and HSMS (High-speed SECS Message
Service). Although the protocols have taken a great role in factory systems,
the existing protocols’ peer-to-peer communication characteristics hold back
the factory systems from evolution as the wafer size and process complexity
increases.

목차 Contents

• 최종보고서 ...1
• 제출문 ...2
• 요약문 ...3
• SUMMARY ...5
• CONTENTS ...7
• 목차 ...8
• 제1장 서론 ...9
• 제1절 기술 개발의 목적 ...9
• 제2절 파급 효과 ...10
• 제3절 관련 기술 현황 ...11
• 1. 관련 기술 ...11
• 2. 현황 ...14
• 제2장 기술 개발 개요 ...15
• 제1절 기능 및 성능 ...15
• 1. 준수 표준 ...15
• 2. 주요 기능 ...17
• 3. 목표 성능 ...18
• 제2절 기대 효과 ...18
• 1. 독창성 혁신성 ...18
• 2. 부가가치성 ...19
• 제3절 수행 계획 ...21
• 제3장 시스템 설계 ...22
• 제1절 전체 구조 ...22
• 제2절 EDA Service Demon ...24
• 1)Authentication Model ...24
• 2)Managed Equipment Model ...26
• 3)Data Collection Plan ...33
• 제3절 Equipment Interpreter Daemon ...35
• 제4절 EDAMate Modeler ...35
• 제4장 시스템 구현 ...36
• 제5장 시스템 평가 ...37
• 제6장 결론 ...46
• 참고문헌 ...47